SS Quality InstitutePage 1污染的定义污染的定义污染污染污染污染2 2所有正在进行的生产过程中，对零部所有正在进行的生产过程中，对零部所有正在进行的生产过程中，对零部所有正在进行的生产过程中，对零部件或产品有负作用的物质、材料或能件或产品有负作用的物质、材料或能件或产品有负作用的物质、材料或能件或产品有负作用的物质、材料或能量。量。量。量。污染的四大部分污染的四大部分污染的四大部分污染的四大部分dd微粒微粒微粒微粒dd微生物，如流汗微生物，如流汗微生物，如流汗微生物，如流汗dd化学制品化学制品化学制品化学制品dd静电释放静电释放静电释放静电释放污染的类型污染的类型污染的类型污染的类型n n微粒微粒微粒微粒 ( (初级的磁盘杀手初级的磁盘杀手初级的磁盘杀手初级的磁盘杀手) )N N 固体的固体的固体的固体的N N 液体的，如水液体的，如水液体的，如水液体的，如水N N 胶黏物胶黏物胶黏物胶黏物n n薄膜薄膜薄膜薄膜N N 油油油油N N 组织的溶解组织的溶解组织的溶解组织的溶解n n离子离子离子离子N N 氯化物氯化物氯化物氯化物N N 硫酸盐硫酸盐硫酸盐硫酸盐SS Quality InstitutePage 2物质物质物质物质 N N任何存在于产品中的、导致产品在生产或测试的任何步骤不合格的物质。任何存在于产品中的、导致产品在生产或测试的任何步骤不合格的物质。任何存在于产品中的、导致产品在生产或测试的任何步骤不合格的物质。任何存在于产品中的、导致产品在生产或测试的任何步骤不合格的物质。悬浮颗粒悬浮颗粒悬浮颗粒悬浮颗粒N N人口通过空气传播的微粒人口通过空气传播的微粒人口通过空气传播的微粒人口通过空气传播的微粒N N通过空气中的气雾造成许多产品的污染通过空气中的气雾造成许多产品的污染通过空气中的气雾造成许多产品的污染通过空气中的气雾造成许多产品的污染水溶剂水溶剂水溶剂水溶剂N N人口的流动微粒人口的流动微粒人口的流动微粒人口的流动微粒N N来自于流程的流动性通过水溶剂造成许多产品的污染来自于流程的流动性通过水溶剂造成许多产品的污染来自于流程的流动性通过水溶剂造成许多产品的污染来自于流程的流动性通过水溶剂造成许多产品的污染( (油油油油) )污染的来源污染的来源污染的来源污染的来源n n人体人体人体人体N N 头发头发头发头发 N N 头皮屑头皮屑头皮屑头皮屑N N 皮肤屑皮肤屑皮肤屑皮肤屑N N 唾沫唾沫唾沫唾沫N N 手指印手指印手指印手指印N N 衣服纤维衣服纤维衣服纤维衣服纤维N N 化妆品化妆品化妆品化妆品头头 发发衣服纤维衣服纤维SS Quality InstitutePage 3污染的来源污染的来源正常谈话正常谈话正常谈话正常谈话 ( (唾液唾液唾液唾液) ) - -2 2 到到到到 3 3 英尺英尺英尺英尺咳嗽咳嗽咳嗽咳嗽 ( (唾液唾液唾液唾液 & & 肺组织肺组织肺组织肺组织) -4 ) -4 到到到到 6 6 英尺英尺英尺英尺打喷嚏打喷嚏打喷嚏打喷嚏 200 200 mph -10 mph -10 到到到到 15 15 英尺英尺英尺英尺在在CR内不可以将口罩拉下与别人内不可以将口罩拉下与别人讲话讲话在在CR内不可以使用纸巾内不可以使用纸巾n n携带的工具携带的工具携带的工具携带的工具ee 金属碎片金属碎片金属碎片金属碎片ee 润滑油润滑油润滑油润滑油ee 油油油油ee 腐蚀的材料腐蚀的材料腐蚀的材料腐蚀的材料金属碎片金属碎片带入带入CR之前必须用净化间指定的清洁之前必须用净化间指定的清洁 溶液溶液(70酒精和酒精和30DI水水)进行清洁进行清洁SS Quality InstitutePage 4污染的尺寸污染的尺寸小于小于12 12 umum的微粒将会划伤磁盘的微粒将会划伤磁盘用肉眼是无法看到用肉眼是无法看到12 12 um um 以下的微以下的微粒的粒的对对对对 Head/Disc Head/Disc 的污染的污染的污染的污染 Disc Disc 表面表面读读写写头头飞行高度飞行高度(0.(0.3 3- -0 0. .3535 u u”) )烟雾烟雾人的头发人的头发 尘埃微粒尘埃微粒手指印手指印SS Quality InstitutePage 5净化室级别净化室级别在净化室地板上在净化室地板上形成交叉区域形成交叉区域返回返回空气空气返回返回空气空气n n什么是什么是什么是什么是 Class 100, 10 Class 100, 10 环境所需求的环境所需求的环境所需求的环境所需求的? ?n nHEPA HEPA 过滤器过滤器过滤器过滤器 80% 80% to 100% to 100% 覆盖覆盖覆盖覆盖n n空气流速空气流速空气流速空气流速 = 70 = 70 到到到到 110 110 FPMFPMn n空气转换空气转换空气转换空气转换 = = 每小时每小时每小时每小时 200 200 到到到到 600 600 n n通常在凸起的地板上打孔通常在凸起的地板上打孔通常在凸起的地板上打孔通常在凸起的地板上打孔n n温度和湿度的控制温度和湿度的控制温度和湿度的控制温度和湿度的控制凸起的地板凸起的地板HEPAHEPA温度和湿度的控制温度和湿度的控制SS Quality InstitutePage 6Class “XXX”意味着什么？意味着什么？在在1 1立方英尺的样本空间中立方英尺的样本空间中0.50.5umum的或更大颗粒的微粒不得超过的或更大颗粒的微粒不得超过10(100)10(100)个数值。个数值。净化室净化室 Class 10(100) Class 10(100) 的定义的定义 净化室级别净化室级别净化室级别净化室级别现在我们采纳：现在我们采纳：Smoke Room_Class100或或Class1000Clean Room & MRB_Class100Kitting Room_Class1000MRC_Class100 Class 100Class 10 Class 1 Class Class “XXXXXX” 意味意味着什么？着什么？SS Quality InstitutePage 77SS Quality InstitutePage 8吹风间吹风间衣服表面的微粒吹尘衣服表面的微粒吹尘 净化室净化室G G必须知道每次进入净化室吹风间的最多的人数是必须知道每次进入净化室吹风间的最多的人数是3 3人。人。G G必须知道每次离开净化室吹风间的最多的人数是必须知道每次离开净化室吹风间的最多的人数是6 6人。人。强化净化室是一个特殊环境的观念强化净化室是一个特殊环境的观念SS Quality InstitutePage 9保持净化室的清洁保持净化室的清洁必须有一系列净化室纪律规定，以维持达到净化室的特殊环境要求必须有一系列净化室纪律规定，以维持达到净化室的特殊环境要求在净化室内的所有时间太空服必须完全穿好在净化室内的所有时间太空服必须完全穿好% 不露出鼻子不露出鼻子% 不露出头发不露出头发% 不露出皮肤不露出皮肤% 讲话时不能把口罩从脸上拉下来讲话时不能把口罩从脸上拉下来% 穿有正确颜色标志太空服穿有正确颜色标志太空服% 衣服没有肮脏，破损衣服没有肮脏，破损% 不得在净化间拉下拉链不得在净化间拉下拉链不能拉下口罩不能拉下口罩SS Quality InstitutePage 10 规范净化室内人员的行为和操作规范净化室内人员的行为和操作规范净化室内人员的行为和操作规范净化室内人员的行为和操作依照正确路径进入净化室,从更衣室进入净化室,或从低级别净化间进入高级别净化室应经风淋室,不可从紧急门或维修门不从风淋进手套破损或脏污不能继续干活,应及时到更衣室更换，发网滑落到更衣室更换及整理。不能拉下口罩说话,或拉起袖子干活行动应缓慢有序,不能急速奔跑/跳动/嬉戏打闹非净化纸(报纸/打印纸/卫生纸等)/食品/非净化物不可带入净化室所有带入物品应拭擦干净,无生锈,无表面可见脏污.不可在净化室内吃东喝水/抽烟随手关门,动作要轻缓,不能摔门或撞门在净化室内组装部件/清洁部件不能在地板上操作.物品(包括清洁用具)也应存放在安全高度以上.污染的控制污染的控制SS Quality InstitutePage 11净化室不能有净化室不能有“ “非法非法” ”物料物料不能化妆不能化妆不能有木质材料不能有木质材料非净化室纸张非净化室纸张纸或纤维胶带纸或纤维胶带 遮蔽胶带，透明胶带等。遮蔽胶带，透明胶带等。,不能吃食物或喝水不能吃食物或喝水,不能嚼口香糖不能嚼口香糖,downdown的工具的工具/ /机器不能使用机器不能使用保持净化室的清洁保持净化室的清洁SS Quality InstitutePage 12防止防止particulate净净净净化间要求化间要求SS Quality InstitutePage 13净化间要求净化间要求净化间要求净化间要求 注注注注: :在在在在CRCR里只能用指定的无尘纸，并且不可撕，不可有毛边里只能用指定的无尘纸，并且不可撕，不可有毛边里只能用指定的无尘纸，并且不可撕，不可有毛边里只能用指定的无尘纸，并且不可撕，不可有毛边防止防止particulateSS Quality InstitutePage 14净化间要求净化间要求净化间要求净化间要求 注注注注: :在净化间不可以化妆，以免造成粉尘污染在净化间不可以化妆，以免造成粉尘污染在净化间不可以化妆，以免造成粉尘污染在净化间不可以化妆，以免造成粉尘污染防止防止particulateSS Quality InstitutePage 15净化间要求净化间要求净化间要求净化间要求 注注注注: :手套要干净完整，不可以写字，有破损要马上出去更换手套要干净完整，不可以写字，有破损要马上出去更换手套要干净完整，不可以写字，有破损要马上出去更换手套要干净完整，不可以写字，有破损要马上出去更换防止防止防止防止particulateparticulateSS Quality InstitutePage 16净化间要求净化间要求净化间要求净化间要求 注注注注: :在净化间里在净化间里在净化间里在净化间里不允许在静电笔上包任何的东西不允许在静电笔上包任何的东西防止防止particulateSS Quality InstitutePage 17What Is ESD? 什什 么么 是是 ESD ? ESD - Electro Static Discharge.ESD - Electro Static Discharge. ESD - ESD - 静静 电电 泄泄 放放ESD是指带有静电的物体靠近或接触另一物体，只要它们之是指带有静电的物体靠近或接触另一物体，只要它们之间存在间存在电势差电势差，就会发生静电荷传递。这种静电荷传递过程，就会发生静电荷传递。这种静电荷传递过程我们称之为我们称之为静电泄放静电泄放。两个物体经过摩擦或者在相对运动两个物体经过摩擦或者在相对运动过程中产生静电过程中产生静电,并且以静电方式留并且以静电方式留在物体表面在物体表面,当它靠近某一传导体的当它靠近某一传导体的表面时就引起静电泄放表面时就引起静电泄放ESD Basic Knowledge ? ESD基本知基本知识 SS Quality InstitutePage 18ESD Basic Knowledge ? ESD基本知识基本知识 静电的概念静电的概念静电就是静止的电荷，就是物体表面有多余的电荷静电就是静止的电荷，就是物体表面有多余的电荷（正电荷和负电荷）存在。（正电荷和负电荷）存在。静电产生有三种方法：静电产生有三种方法：N摩擦摩擦N相接触的两种物体发生分离相接触的两种物体发生分离N静电感应产生静电静电感应产生静电SS Quality InstitutePage 19ESD Basic Knowledge ? ESD基本知识基本知识 静电产生方法静电产生方法N静电感应产生静电静电感应产生静电 + + + + + + + + + + + - - - - - - - - - - - - - - + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + HGA+ +- - + +- - + +- - + +- - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - -当当HGA靠近静电源也将会在靠近静电源也将会在HGA上产生感应电荷。上产生感应电荷。SS Quality InstitutePage 20 N相接触的两种物体发生分离相接触的两种物体发生分离打开导体打开导体tray 当分离任何两个物体（绝缘体或者导体），静电将会产生在两个物当分离任何两个物体（绝缘体或者导体），静电将会产生在两个物体上。体上。打开打开绝缘绝缘体体tray ESD Basic Knowledge ? ESD基本知识基本知识 静电产生方法静电产生方法SS Quality InstitutePage 21How Does Electrostatic Charge Generating And Eliminating?静静 电电 的的 产产 生生 及及 消消 除除?Combing hair Combing hair 梳头发梳头发梳头发梳头发Unrolling adhesive tape Unrolling adhesive tape 撕粘胶带撕粘胶带撕粘胶带撕粘胶带Walking Walking 行走行走行走行走Movement of Movement of body body 身体移动身体移动身体移动身体移动ESD Basic Knowledge ? ESD基本知识基本知识 ; 所有所有绝缘材料绝缘材料都容易产生静电，而且不容易用简单都容易产生静电，而且不容易用简单方法消除绝缘材料表面产生的静电。如方法消除绝缘材料表面产生的静电。如普通的塑胶制普通的塑胶制品品，陶瓷、石英、玻璃等。我们可以，陶瓷、石英、玻璃等。我们可以通过通过离子风机离子风机等等人为产生离子，中和绝缘体或孤立的导体表面所带的人为产生离子，中和绝缘体或孤立的导体表面所带的静电静电。; 导体导体在发生静电感应或摩擦情况下也可以产生静电，在发生静电感应或摩擦情况下也可以产生静电，但我们可以用简单地但我们可以用简单地接地接地的方法来消除导电材料表面的方法来消除导电材料表面产生的静电。产生的静电。SS Quality InstitutePage 22Electrostatic Risk 静静 电电 风风 险险M 静电静电 的产生和存在十分广泛，人体活动、机器移动、液体流动，就连我们周围的空气也是有原子组成的，当这些空气流动时也会产生静电，可以说在我们的生产过程中处处都可能产生静电。要完全消除静电几乎不可能，但可以采取一些措施来控制静电的危害在一定的范围内。 M 静电静电 如果没有途径消除的话，而是流向对静电非常敏感的电子元器件，特别是非常精密的电脑硬盘磁头，PCBA等，那么则会使这些敏感的电子元器件降低等级而成为废品或次品。ESD Basic Knowledge ? ESD基本知识基本知识 SS Quality InstitutePage 23 Wear proper clean room attire Wear proper clean room attire before entering and perform before entering and perform continuity test 进进 入入 净净 化化 室室 之之 前前 需需 正正 确确 穿穿 好好 净净 化化 室室 制制 服服 并并 进进 行行 连连连连 续续续续 性性性性 的的的的 测测测测 试试试试Hood Hood 头头头头 巾巾巾巾 罩罩罩罩( (Head Gear Head Gear 头头头头 罩罩罩罩 ) )Face Mask Face Mask 口罩口罩口罩口罩Jumpsuit Jumpsuit 太太太太 空空空空 服服服服 Glove Glove 手手手手 套套套套Booties Booties 太太太太 空空空空 鞋鞋鞋鞋 Wrist strap Wrist strap 静电手腕带静电手腕带静电手腕带静电手腕带ESD控制控制-人体接地及监控人体接地及监控Jumpsuit Continuity Test Jumpsuit Continuity Test 太空服连续性测试太空服连续性测试太空服连续性测试太空服连续性测试 测量时亮红灯表示不通过测量时亮红灯表示不通过不测时指示电源不测时指示电源测量时表示不通过测量时表示不通过用手握住测试用手握住测试测量时亮绿灯表示测量时亮绿灯表示通过通过SS Quality InstitutePage 24ESD控制控制-人体接地及监控人体接地及监控M 在在ESD安全的工作环境中，人产生的静电是我们进安全的工作环境中，人产生的静电是我们进行行ESD控制的一个重点，我们知道，人体是导体，对控制的一个重点，我们知道，人体是导体，对于人体产生的静电我们可以通过接地来加以消除。人于人体产生的静电我们可以通过接地来加以消除。人体接地有两个重要环节：体接地有两个重要环节：1.通过太空服太空靴或防静电鞋及通过太空服太空靴或防静电鞋及ESD材料的地垫或地材料的地垫或地板接地。板接地。2.通过腕带接地。通过腕带接地。M 通过手通过手/脚腕带接地是消除人体静电很重要的方法。脚腕带接地是消除人体静电很重要的方法。并且还必须对腕带接地进行连续不断检测（并且还必须对腕带接地进行连续不断检测（我们采用我们采用3M/NOVX/WS AWARE手腕带检测仪手腕带检测仪）SS Quality InstitutePage 25Dual conductor wrist strapDual conductor wrist strap双双双双 头头头头 导导导导 电电电电 手手手手 腕腕腕腕 带带带带正确佩戴手腕带正确佩戴手腕带 金属片紧贴皮肤金属片紧贴皮肤 手腕带的导线与腕带手腕带的导线与腕带 & Monitor的插孔必须紧紧连接的插孔必须紧紧连接 确保确保Monitor监控器上的亮绿灯监控器上的亮绿灯 保证没有警告声保证没有警告声Rev: Q金金属属片片注意注意：1.任何灯显示红色都不可以工作任何灯显示红色都不可以工作 2.正常工作时不允许关闭报警器正常工作时不允许关闭报警器插上手腕带后，WS Aware monitor 必须确保始终亮绿灯 Wear Wear wrist strap wrist strap when contacting with ESD sensitive componentswhen contacting with ESD sensitive components在在 接接 触触 静静 电电 敏敏 感感 元元 件件 时时 必必 须须 佩佩 戴戴 静静 电电 手手 腕腕 带带 ESD控制控制-人体接地及监控人体接地及监控SS Quality InstitutePage 26目前我们在用的手腕带监测仪有：3M 722 / 724，Novx 300 ，Novx 5315, WS Aware等。Novx300Novx53153M 724WS AwareESD控制控制-人体接地及监控人体接地及监控SS Quality InstitutePage 27 接地监测是监测设备和金属物体接地的重要设备，在HAS和FOF生产线，大多数工位都安装有接地监测仪。目前我们在用的是Ground Master 和 WS Aware监测仪。必须保持接地监测设备始终亮绿灯。接地监测设备不亮灯或亮红灯不亮灯或亮红灯不亮灯或亮红灯不亮灯或亮红灯，停止工作，立即通知到相关技术人员来处理。必须始终确保必须始终确保Ground Master 电源开关和监控电源开关和监控开关在开启状态。开关在开启状态。Ground Master 和和WS Aware monitor 接地监接地监控指示灯控指示灯ESD控制控制-设备接地及监控设备接地及监控SS Quality InstitutePage 28 IonizerIonizer - - Model Model 58105810、6412A6412A & 5802 & 5802 离离离离 子子子子 吹吹吹吹 风风风风 机机机机 Model 6421AModel 6421A ( ( 注：产生正负离子，注：产生正负离子，注：产生正负离子，注：产生正负离子，中和绝缘体或孤立的导体表面所带中和绝缘体或孤立的导体表面所带的静电。的静电。 ）工作原理：在工作原理：在10s内把物内把物体表面产生的体表面产生的1000V静静电消除在电消除在+(-)10V之内当之内当离子风机离子风机平衡电压平衡电压超过超过+(-)10V,离子风机会亮红离子风机会亮红灯报警，这时必须进行灯报警，这时必须进行更换维修。更换维修。ESD Basic Knowledge ? ESD基本知识基本知识 ESD控制控制-离子化离子化SS Quality InstitutePage 29ESD控制控制-设备接地及监控设备接地及监控设备接地设备接地对生产流水线的输送皮带必须是ESD材料。工作台应使用金属台面，并对工作台面进行接地。工作台上的电脑显示器法拉第罩，视保屏都必须进行接地。 贮存ESD敏感产品或零部件的架子必须进行接地。手推车满足ESD要求（至少2个ESD车轮）。设备 / 工具通过轴承或气缸联接的接触ESD敏感产品的部分必须另接接地线接地。设备 / 工具接触ESD敏感产品的部分不得使用绝缘材料，应使用金属或ESD材料。 缩短接地线，去除多余的不必要的接地线保持接地线平直（避免卷曲接地线）并使用希捷要求的接地线尺寸及型号联接到已知的好的接地点，并确保接地牢靠对工位，设备，工具接地不要一个接一个的进行链接对同一工位，设备，工具不要进行重复接地设备接地线设备接地线SS Quality InstitutePage 30Smock Room的要求的要求 注注注注: :在测太空服导通性的时候要单手单脚同时测。在测太空服导通性的时候要单手单脚同时测。在测太空服导通性的时候要单手单脚同时测。在测太空服导通性的时候要单手单脚同时测。ESD要求要求SS Quality InstitutePage 31离子风机检查离子风机检查离子风机检查离子风机检查 亮绿灯亮绿灯亮绿灯亮绿灯- -风向吹向工作台风向吹向工作台风向吹向工作台风向吹向工作台- -有效期为一个月，不可过期有效期为一个月，不可过期有效期为一个月，不可过期有效期为一个月，不可过期- -离子风扇的上方不可覆盖东西离子风扇的上方不可覆盖东西离子风扇的上方不可覆盖东西离子风扇的上方不可覆盖东西ESD要求要求SS Quality InstitutePage 32MonitorMonitor要求要求要求要求1.1.只有一个插孔，手腕带要通过挂环插在亮绿灯的孔里只有一个插孔，手腕带要通过挂环插在亮绿灯的孔里只有一个插孔，手腕带要通过挂环插在亮绿灯的孔里只有一个插孔，手腕带要通过挂环插在亮绿灯的孔里 图图图图1 12.2.有两个插孔，手腕带可同时通过挂环插在亮绿灯的孔里有两个插孔，手腕带可同时通过挂环插在亮绿灯的孔里有两个插孔，手腕带可同时通过挂环插在亮绿灯的孔里有两个插孔，手腕带可同时通过挂环插在亮绿灯的孔里 图图图图2 2图1图2ESD要求要求SS Quality InstitutePage 33MonitorMonitor检查要求检查要求检查要求检查要求1.1.检查检查检查检查MonitorMonitor的指示灯是否亮（小黄灯电源的指示灯是否亮（小黄灯电源的指示灯是否亮（小黄灯电源的指示灯是否亮（小黄灯电源 ，小绿灯接地线，大绿灯手腕带的指示灯），小绿灯接地线，大绿灯手腕带的指示灯），小绿灯接地线，大绿灯手腕带的指示灯），小绿灯接地线，大绿灯手腕带的指示灯）2.2.有效期为有效期为有效期为有效期为6 6个月，不可过期个月，不可过期个月，不可过期个月，不可过期ESD要求要求SS Quality InstitutePage 34物料盒，零部件料盒所有被用来运送，存贮，接触ESD敏感产品或零部件的物料器具必须满足ESD敏感产品处理要求HSA trayHSA trayHDA transfer boxESD要求要求SS Quality InstitutePage 35注注:检查货架接地线要无断裂；蓝皮垫无破损、脏污检查货架接地线要无断裂；蓝皮垫无破损、脏污ESD要求要求