垂直連續鍍銅垂直連續鍍銅 JETCHEM JETCHEM (WUXI) CHEMICAL TECHNOLOGIES CO., LTD. 超特超特(無錫無錫)化學科技有限公司化學科技有限公司 酸性鍍銅酸性鍍銅概述概述: : 直流電鍍直流電鍍 脈衝電鍍脈衝電鍍酸性鍍銅酸性鍍銅概述概述直流電鍍直流電鍍:- - 水平水平電鍍制程電鍍制程- - 垂直垂直電鍍制程電鍍制程- - 槽體設計槽體設計- -分體壓縮式分體壓縮式- - TPTP值值- - 酸性銅酸性銅添加劑添加劑 - - 延展性延展性酸性鍍銅酸性鍍銅水平水平電鍍制程電鍍制程制程 酸性鍍銅酸性鍍銅垂直垂直電鍍制程電鍍制程工藝流程酸性鍍銅酸性鍍銅基本原理反應機理: 陽極 Cuo - Cu+2 + 2e- 陰極 Cu+2 + 2e- - Cuo ANODESANODES +H+SO4-2SO4-2H+H+Cu+2Cu+2Cu+2Cu+2酸性鍍銅酸性鍍銅槽體設計AirAirFILTERANODESANODESPUMP隔板陽極袋酸性鍍銅酸性鍍銅熱應力高溫高溫室溫室溫Stresses imparted to a PTH due to thermal Z-axis expansion conditions.ABCDA: 銅箔斷裂B: 內層銅斷裂C: 孔銅斷裂D: 邊角斷裂酸性鍍銅酸性鍍銅厚度分布+理論情況情況1情況3+情況2酸性鍍銅酸性鍍銅陽極袋ANODE SHIELDANODE SHIELDA N O D E S H I E L D陽極梆酸性鍍銅酸性鍍銅陽極與陰極距離不可接受的不可接受的可接受的可接受的酸性鍍銅酸性鍍銅TP值 TP 計算公式EADCBF% T P (C+D) x2 (A+B+E+F) =酸性鍍銅酸性鍍銅High Aspect Ratio Recommended Bath ParametersLow High酸性鍍銅酸性鍍銅High Aspect Ratio Important parameters - high influence酸性鍍銅酸性鍍銅High Aspect Ratio Important parameters - medium influence酸性鍍銅酸性鍍銅High Aspect Ratio Recommended Bath Parameters酸性鍍銅酸性鍍銅光澤劑光澤劑 / / 整平劑整平劑 分布狀況分布狀況酸性鍍銅酸性鍍銅整平能力 整平程度 a. 平整性變差 b.沒有作用僅僅覆蓋上 c. 很好整平性酸性鍍銅酸性鍍銅光澤劑 / 整平劑 工作機理模型酸性鍍銅酸性鍍銅光澤劑化學類型酸性鍍銅酸性鍍銅整平劑化學類型酸性鍍銅酸性鍍銅PC-UT鍍銅光澤劑主要成份酸性鍍銅酸性鍍銅延展性酸性鍍銅酸性鍍銅不同壓力拉力銅箔表1. 有很好延展性。2.一般狀況，在很大拉力下較易斷裂 。3.較差狀況,很容易斷裂。 酸性鍍銅酸性鍍銅概述概述: 脈衝脈衝電鍍電鍍 酸性鍍銅酸性鍍銅 - 脈衝電鍍脈衝電鍍酸性鍍銅酸性鍍銅 - 脈衝電鍍脈衝電鍍酸性鍍銅酸性鍍銅 - 脈衝電鍍脈衝電鍍酸性鍍銅酸性鍍銅 - 脈衝電鍍脈衝電鍍酸性鍍銅酸性鍍銅 - 脈衝電鍍脈衝電鍍Amps0.5 sec10 sec酸性鍍銅酸性鍍銅 - 脈衝電鍍脈衝電鍍酸性鍍銅酸性鍍銅 - 脈衝電鍍脈衝電鍍對溶液流動影響對溶液流動影響酸性鍍銅酸性鍍銅 - 脈衝電鍍脈衝電鍍電鍍銅沈積機理電鍍銅沈積機理酸性鍍銅酸性鍍銅 - 脈衝電鍍脈衝電鍍電鍍銅沈積機理電鍍銅沈積機理酸性鍍銅酸性鍍銅 - 脈衝電鍍脈衝電鍍電鍍銅沈積機理電鍍銅沈積機理酸性鍍銅酸性鍍銅 - 脈衝電鍍脈衝電鍍脈衝電鍍脈衝電鍍優勢優勢酸性鍍銅酸性鍍銅 - 脈衝電鍍脈衝電鍍脈衝電鍍優勢脈衝電鍍優勢酸性鍍銅酸性鍍銅 - 脈衝電鍍脈衝電鍍 脈衝電鍍優勢脈衝電鍍優勢酸性鍍銅酸性鍍銅 - 脈衝電鍍脈衝電鍍 脈衝電鍍優勢脈衝電鍍優勢酸性鍍銅酸性鍍銅 - 脈衝電鍍脈衝電鍍 脈衝電鍍優勢脈衝電鍍優勢酸性鍍銅酸性鍍銅 - 脈衝電鍍脈衝電鍍 脈衝電鍍優勢脈衝電鍍優勢酸性鍍銅酸性鍍銅 - 脈衝電鍍脈衝電鍍 脈衝電鍍優勢脈衝電鍍優勢酸性鍍銅酸性鍍銅 - 脈衝電鍍脈衝電鍍 脈衝電鍍優勢脈衝電鍍優勢酸性鍍銅酸性鍍銅 - 脈衝電鍍脈衝電鍍 脈衝電鍍優勢脈衝電鍍優勢酸性鍍銅酸性鍍銅 - 脈衝電鍍脈衝電鍍酸性鍍銅酸性鍍銅 - 脈衝電鍍脈衝電鍍酸性鍍銅酸性鍍銅 - 脈衝電鍍脈衝電鍍 Copper Replenishment for Insoluble Anode 制程制程