深加工玻璃深加工玻璃主主 讲：讲：宁海霞宁海霞绵绵 阳阳 职职 业业 技技 术术 学学 院院2009-7-282009-7-28普通硅酸盐工艺学普通硅酸盐工艺学镀膜玻璃镀膜玻璃提提 纲纲玻璃上薄膜的形成玻璃上薄膜的形成真空阴极磁控溅射法真空阴极磁控溅射法化学沉积法化学沉积法真空蒸镀法真空蒸镀法凝胶法凝胶法化学镀膜法化学镀膜法镀膜玻璃、玻璃镜的原材料及公共工程的要求镀膜玻璃、玻璃镜的原材料及公共工程的要求一、一、玻璃上薄膜的形成玻璃上薄膜的形成1 1、薄膜干涉的理论和镀膜玻璃的膜层设计、薄膜干涉的理论和镀膜玻璃的膜层设计 光的干涉现象光的干涉现象 光线入射到薄膜上，经反射和光线入射到薄膜上，经反射和折射后，经人眼会聚一点，发折射后，经人眼会聚一点，发生干涉现象，光程差等于半波生干涉现象，光程差等于半波长的偶数倍，人眼看到长的偶数倍，人眼看到B处的处的是亮的，光程差等于半波长的是亮的，光程差等于半波长的奇数倍时是暗的。奇数倍时是暗的。B 光程差：光程差：（k=1k=1、22） 干涉加强干涉加强（k=0k=0、1 1、22） 干涉减弱干涉减弱 膜层设计：膜层设计：增透膜时，相消干涉来减少反射，即增透膜时，相消干涉来减少反射，即增反膜时，相长干涉来减少透射，即增反膜时，相长干涉来减少透射，即2 2、太阳能的划分、太阳能的划分3 3、薄膜的形成方法及膜层类型、薄膜的形成方法及膜层类型 溅射法、真空蒸镀法、离子镀膜法溅射法、真空蒸镀法、离子镀膜法 化学沉积法、凝胶法、喷涂法化学沉积法、凝胶法、喷涂法 化学镀膜法化学镀膜法（um)um)0.40.40.70.71.151.15紫外光紫外光可见光可见光短波红外光短波红外光长波红外光长波红外光氧化物膜及金属膜氧化物膜及金属膜 金属膜金属膜氧化物膜氧化物膜二、二、真空阴极磁控溅射法真空阴极磁控溅射法1 1、工作原理、工作原理 在溅射装置中设置磁场以控制电子运动方向，束缚电在溅射装置中设置磁场以控制电子运动方向，束缚电子运动轨迹，从而提高工作气体的电离几率和有效子运动轨迹，从而提高工作气体的电离几率和有效地利用电子能量，提供大量电子的轰击靶材地利用电子能量，提供大量电子的轰击靶材 的正离的正离子，形成高密度的等离子区，由于正离子轰击靶材子，形成高密度的等离子区，由于正离子轰击靶材而产生溅射，溅射粒子的中性靶原子在基片上沉积而产生溅射，溅射粒子的中性靶原子在基片上沉积成膜，而其中的二次电子进入等离子区参与电离子成膜，而其中的二次电子进入等离子区参与电离子碰撞，不断地补充大量的正离子，二次电子在其能碰撞，不断地补充大量的正离子，二次电子在其能量耗尽时，被阴极吸引而导出真空室。量耗尽时，被阴极吸引而导出真空室。溅射原理图溅射原理图2 2、特点、特点 膜厚可控性和重复性好；膜厚可控性和重复性好； 膜层与基片的附着力强；膜层与基片的附着力强； 可以制造特殊材料的膜层；可以制造特殊材料的膜层； 膜层纯度高；膜层纯度高； 磁控溅射速度高，基片温度低磁控溅射速度高，基片温度低3 3、工艺流程、工艺流程玻璃原板玻璃原板人工检验人工检验装片装片洗涤干燥洗涤干燥人工检验人工检验抽真空抽真空入口等待入口等待缓冲室缓冲室溅射溅射溅射溅射溅射溅射直流电源直流电源反应气体反应气体工作气体工作气体出口室出口室缓冲室缓冲室出口洗涤干燥出口洗涤干燥输送输送成品检验成品检验抽真空抽真空4 4、品种及性能、品种及性能（1）按产品的性能分类：）按产品的性能分类： 阳光阳光控制玻璃控制玻璃 低辐射膜玻璃低辐射膜玻璃 玻璃镜玻璃镜 导电玻璃导电玻璃 反反射膜玻璃反反射膜玻璃 低辐射阳光控制膜玻璃低辐射阳光控制膜玻璃高透型高透型LOW-ELOW-E遮阳型遮阳型LOW-ELOW-E双银双银LOW-ELOW-E（2）性能：）性能： 控光及节能（两个参数：控光及节能（两个参数：ScSc和和U U） 美学性能（装饰效果）美学性能（装饰效果） 导电性能导电性能 单向透视或隐形性能单向透视或隐形性能 化学稳定性及耐磨性能化学稳定性及耐磨性能5 5、生产镀膜玻璃需注意的工艺事项、生产镀膜玻璃需注意的工艺事项玻璃需新鲜玻璃需新鲜镀膜前清洗的质量要高镀膜前清洗的质量要高玻璃在运输及储存中要防止雨淋玻璃在运输及储存中要防止雨淋清洗后的玻璃不能用裸手触摸清洗后的玻璃不能用裸手触摸镀膜前的辉光放电的强度和时间要符合工艺要求镀膜前的辉光放电的强度和时间要符合工艺要求反应溅射镀膜要准确的控制好反应气体的用量反应溅射镀膜要准确的控制好反应气体的用量溅射电流、电压等工艺参数要稳定溅射电流、电压等工艺参数要稳定本方法只适用本方法只适用于生产阳于生产阳光控制玻光控制玻璃璃三、三、化学沉积法化学沉积法1 1、原理、原理 利用气相物质通过化学反应在利用气相物质通过化学反应在基体表面基体表面上形成上形成固态薄膜的一种方法。固态薄膜的一种方法。2 2、影响化学沉积法镀膜的因素、影响化学沉积法镀膜的因素 气体物质的浓度气体物质的浓度 安装镀膜反应器处的玻璃温度安装镀膜反应器处的玻璃温度 反应副产物及未反应物的排出速度反应副产物及未反应物的排出速度 玻璃拉引速度玻璃拉引速度四、真空蒸镀法四、真空蒸镀法1 1、原理、原理 利用真空状态下物质达到饱和蒸气压下降的性质利用真空状态下物质达到饱和蒸气压下降的性质形成蒸气，蒸气质点沉积在玻璃表面上形成一层形成蒸气，蒸气质点沉积在玻璃表面上形成一层具有一定粘度的金属膜。具有一定粘度的金属膜。2 2、工艺流程、工艺流程检验检验 基基 片片 洗涤干燥洗涤干燥装片装片 镀膜镀膜 出片出片 检验检验 卸片卸片 检检 验验热反射玻璃成品热反射玻璃成品 包装入库包装入库 刷底漆刷底漆干燥干燥 刷面漆刷面漆 干燥干燥 检验检验 铝镜成品铝镜成品 包装入库包装入库五、五、凝胶法凝胶法1 1、原理、原理 采用元素周期表中采用元素周期表中类、类、类和类和类中某些元类中某些元素合成烃氧化基化合物并利用某些有机盐类作为素合成烃氧化基化合物并利用某些有机盐类作为镀膜物质，将这些烃氧化基化合物及无机盐溶于镀膜物质，将这些烃氧化基化合物及无机盐溶于某种溶剂配制成醇盐溶液，然后将干净的玻璃基某种溶剂配制成醇盐溶液，然后将干净的玻璃基片浸渍在此种溶液中，浸渍一段时间后徐徐提起，片浸渍在此种溶液中，浸渍一段时间后徐徐提起，粘附于玻璃基片上的醇盐溶液在空气中水解，再粘附于玻璃基片上的醇盐溶液在空气中水解，再经加热缩聚，最后在玻璃基片表面结成氧化物膜。经加热缩聚，最后在玻璃基片表面结成氧化物膜。2 2、工艺流程、工艺流程加热加热 检检 验验基片基片 洗洗 涤干燥涤干燥装片装片 浸镀浸镀 提升提升 输送输送 烘干烘干 冷却冷却 卸片卸片 检验检验 铝镜成品铝镜成品 包装入库包装入库金属醇盐溶液金属醇盐溶液六、六、化学镀膜法化学镀膜法1 1、原理、原理 将银氨溶液和醛基或酮基的糖溶液喷洒将银氨溶液和醛基或酮基的糖溶液喷洒到洁净的玻璃表面上，利用醛类或酮类有到洁净的玻璃表面上，利用醛类或酮类有机化合物中醛基的还原性，把银氨溶液中机化合物中醛基的还原性，把银氨溶液中的银还原。的银还原。2 2、工艺流程、工艺流程一次镀银一次镀银 检检 验验基片基片 洗洗 涤干燥涤干燥装片装片 抛光抛光 刷洗刷洗 冲洗冲洗 敏化敏化 二次镀银二次镀银 镀铜镀铜 清洗清洗 干燥干燥 预热预热一次涂漆一次涂漆二次涂漆二次涂漆烘干烘干冷却冷却清洗镜面清洗镜面双面清洗双面清洗干燥干燥输送输送卸片卸片检验检验七、七、镀膜玻璃、玻璃镜的原材料镀膜玻璃、玻璃镜的原材料及公共工程的要求及公共工程的要求玻璃基片要求采用浮法玻璃中质量等级最玻璃基片要求采用浮法玻璃中质量等级最高的产品即一级品。高的产品即一级品。车间环境：无尘埃、通风、无污染源、车车间环境：无尘埃、通风、无污染源、车间空气相对湿度间空气相对湿度75%