第五章第五章长度测量长度测量5-1 5-1 概述概述 5-2 5-2 长度尺寸测量长度尺寸测量5-3 5-3 形位误差和异形曲面的测量形位误差和异形曲面的测量5-4 5-4 表面粗糙度测量表面粗糙度测量5-5 5-5 线位移量的测量线位移量的测量5-6 5-6 纳米测量技术纳米测量技术15-3 5-3 形位误差和异形曲面的测量形位误差和异形曲面的测量（一）基本概念（一）基本概念（二）直线度误差（二）直线度误差一、一、形位误差的测量形位误差的测量2直线度误差最小包容区域法（最小条件法）最小包容区域法（最小条件法）端点连线法端点连线法相邻点高度差：相邻点高度差： =0.005c l 各采样点坐标值：各采样点坐标值：3圆度误差定义圆度误差定义：（三）圆度误差的评定（三）圆度误差的评定45（四）用圆度仪测量同轴度误差（四）用圆度仪测量同轴度误差6二、异形曲面的测量二、异形曲面的测量手工测量法；手工测量法；机器人测量法；机器人测量法；三坐标测量法；三坐标测量法；经纬仪组合测量法；经纬仪组合测量法；机器视觉测量法。机器视觉测量法。7（一）视觉传感器的类型及工作原理（一）视觉传感器的类型及工作原理类型类型点光源、线光源、光栅式（多平行线）结构光点光源、线光源、光栅式（多平行线）结构光同心圆环、圆光斑同心圆环、圆光斑编码式结构光、彩色结构光编码式结构光、彩色结构光双目体视传感器双目体视传感器8（二）机器视觉检测系统（二）机器视觉检测系统固定式固定式：适用于：适用于大批量产品大批量产品的快速检测。的快速检测。可动式可动式：一般用于：一般用于单件产品或小批量产品单件产品或小批量产品的测量。的测量。95-4 5-4 表面粗糙度测量表面粗糙度测量1.接触式轮廓仪（触针式轮廓仪）接触式轮廓仪（触针式轮廓仪） 2 2、非接触式轮廓仪、非接触式轮廓仪105-5 5-5 线位移量的测量线位移量的测量一、大位移量的测量一、大位移量的测量一、大位移量的测量一、大位移量的测量激光测量激光测量非相干测量非相干测量相干测量相干测量脉冲测距法脉冲测距法相位差测距法相位差测距法11（一）非相干测量（一）非相干测量脉冲测距法脉冲测距法12（二）相干测量（二）相干测量13二、物位测量二、物位测量14155-6纳米测量技术纳米测量技术一、扫描隧道显微镜一、扫描隧道显微镜工作方式：恒高度、恒电流工作方式：恒高度、恒电流16二、原子力显微镜二、原子力显微镜工作模式：工作模式：1.1.接触模式接触模式2.2.轻敲模式轻敲模式3.3.相移模式相移模式17三、三、X X射线干涉仪射线干涉仪四、集成激光干涉系统四、集成激光干涉系统18