烧结炉与退火炉烧结炉与退火炉主要内容主要内容一、基本知识一、基本知识二、二、COCCOC量产烧结炉量产烧结炉三、三、COCCOC烧结工艺介绍烧结工艺介绍四、四、COCCOC退火工艺介绍退火工艺介绍2基基 本本 知知 识识3基本知识基本知识PDPPDP用玻璃基板简介用玻璃基板简介 PDP应用的玻璃都是采用浮法工艺生产出来的。浮法就是在平板玻璃的生产过程中，熔融的玻璃液流漂浮在熔融的金属（一般采用锡）上生产的方法。当前的使用的玻璃基板都是形变较小的PD200（应变点达570，退火点达620）等高品质玻璃。浮法工艺示意图浮法工艺示意图4基本知识基本知识烧结炉的作用烧结炉的作用 烧结炉的温度要求很严格，在保温区内，样品有效面内的温度偏差小于3。为了改善烧结炉内的洁净度，炉内的传输机构由高铝陶瓷棍柱式替代了网带式，减少了传输部分带来的污染。此外，炉膛内壁均有耐热玻璃制作的内胆。另外，烧结炉使用了多路排气系统防止有机成分的燃烧不完全造成的炭化。 印刷的样品只有经过烧结才能印刷的样品只有经过烧结才能去除浆料中的有机载体去除浆料中的有机载体，才能才能使低熔点玻璃粉熔化并粘住浆料中的固体成分使低熔点玻璃粉熔化并粘住浆料中的固体成分。5基本知识基本知识扇形形变扇形形变 在在连连续续式式烧烧成成炉炉中中，由由高高温温区区到到低低温温区区，前前边边先先冷冷却却凝凝固固，并并带带动动后后边边凝凝固固，逐逐级级带带动动后后边边冷冷却却，而而形形成成“扇扇形形形形变变”。因因此此烧烧结结炉炉的的徐徐冷冷部部（600600350350）采采用用间间歇歇传送方式。传送方式。玻璃弯曲玻璃弯曲 6设备的主要组成设备的主要组成 （1 1）炉体）炉体 （2 2）装载部）装载部 （3 3）加热器）加热器 （4 4）温度控制系统）温度控制系统 （5 5）传送系统）传送系统 （6 6）送气和排气系统）送气和排气系统 （7 7）载板）载板基本知识基本知识烧结炉结构烧结炉结构7 烧烧结结炉炉可可以以是是单单层层，双双层层，甚甚至至是是3 3层层。目目的的是是为为了缩短节拍时间，减小炉子的长度。了缩短节拍时间，减小炉子的长度。基本知识烧结炉结构基本知识烧结炉结构8 炉炉温温曲曲线线的的第第一一个个保保温温区区为为“脱脱气气区区”，目目的的是是让让浆浆料料内内部部的的有有机机载载体体稳稳定定地地挥挥发发，这这时时的的温温度度较较低低还还没没有有达达到到低低熔熔点点玻玻璃璃粉粉熔熔融融的的温温度度，有有利利于于降降低低浆浆料料内内部部气气泡泡的的产产生生。同同时时该该区区加加入入一一定定流流量量的的压压缩缩空空气气，让让载载体体迅迅速速地地离开炉内防止有机成分的燃烧不完全造成的炭化。离开炉内防止有机成分的燃烧不完全造成的炭化。脱气区脱气区 基本知识炉温曲线基本知识炉温曲线9基本知识炉温曲线基本知识炉温曲线保温区保温区 根根据据材材料料的的配配方方选选择择合合适适的的温温度度使使浆浆料料中中的的低低熔熔点点玻玻璃璃粉粉稳稳定定融融化化并并粘粘结结浆浆料料中中固固体体成成份份。由由于于有有机机载载体体在在脱脱气气区区已已挥挥发发完完毕毕，为为了了保保证证较较高高的的温温度度均均匀匀性性，该该区区不不需需要额外的供排气系统。要额外的供排气系统。间歇区间歇区 为为了了防防止止玻玻璃璃基基板板出出现现扇扇形形形形变变，选选择择整整个个玻玻璃璃基基板板同时降温。同时降温。10基本知识基本知识退火炉的作用退火炉的作用 作用：减少玻璃基板在高温烧结时的变形量作用：减少玻璃基板在高温烧结时的变形量。 玻玻璃璃在在生生产产、加加工工、储储存存和和运运输输等等过过程程中中均均可可造造成成玻玻璃璃内内部部的的应应力力集集中中，因因此此，在在彩彩色色PDPPDP基基板板玻玻璃璃还还没没有有涂涂敷敷任任何何涂涂层层前前，应应对对该该基基板板玻玻璃璃以以较较高高温温度度退退火火（该该退退火火温温度度要要比比以以后后PDPPDP任任何何涂涂层层的的烧烧结结温温度度都都高高），使使得得PDPPDP在在退退火火时时将将因因应应力力的的原原因因使使玻玻璃璃易易发发生生变变形形的的地地方方在在涂涂敷敷前前充充分分变变形形，这这样在以后较低的烧结温度下玻璃变形将大大减小。样在以后较低的烧结温度下玻璃变形将大大减小。11COCCOC量产用烧结炉量产用烧结炉12COCCOC量产用烧结炉目的量产用烧结炉目的 烧烧结结炉炉用用于于PDPPDP中中国国量量产产线线烧烧结结工工艺艺，以以印印刷刷/ /干干燥燥工工艺艺结结束束后后的的基基板板表表面面形形成成的的材材料料为为目目标标的的温温度度进进行行加加热热、排气从而完全消除排气从而完全消除BinderBinder均匀的烧结。均匀的烧结。 烧结炉烧结炉退火炉退火炉 退退火火处处理理炉炉为为了了FHDFHD生生产产，在在烧烧结结工工艺艺前前对对玻玻璃璃面面板板提前进行高温处理，使得烧结工艺后面板的变形最小化。提前进行高温处理，使得烧结工艺后面板的变形最小化。13COCCOC量产用烧结炉玻璃基板尺寸量产用烧结炉玻璃基板尺寸玻璃基板尺寸玻璃基板尺寸424288505066前玻璃基板（前玻璃基板（mmmm）1964*2252*2.8/1.81964*2252*2.8/1.82328*1950*2.8/1.2328*1950*2.8/1.8 8后玻璃基板（后玻璃基板（mmmm）1926*2328*2.8/1.81926*2328*2.8/1.82288*2010*2.8/1.2288*2010*2.8/1.8 814COCCOC量产用烧结炉设备清单量产用烧结炉设备清单 设备名称设备名称 数量数量 Layer Layer 备注备注Pre-Annealing Furnace_F Pre-Annealing Furnace_F 1 14 4TotalTotal：8 8 台台Pre-Annealing Furnace_RPre-Annealing Furnace_R1 14 4BS&BUS Electode Firing FurnaceBS&BUS Electode Firing Furnace1 13 3Front Dielectric Firing FurnaceFront Dielectric Firing Furnace1 13 3Address Electrode Firing FurnaceAddress Electrode Firing Furnace1 13 3Rear Dielectric Firing FurnaceRear Dielectric Firing Furnace1 13 3Barrier Rib Firing FurnaceBarrier Rib Firing Furnace1 13 3Phosphor & Seal Line Firing Furnace Phosphor & Seal Line Firing Furnace 1 13 315COCCOC量产用烧结炉基本规格量产用烧结炉基本规格区分区分规格与内容规格与内容备注备注制作数量制作数量8 8台台退火处理炉退火处理炉:2:2台台, ,烧结炉烧结炉:6:6台台结构结构烧结烧结2 2层，层，Ruturn1Ruturn1层层退火处理炉退火处理炉: :烧结烧结 3 3层层,Return 1,Return 1层层Tact TimeTact Time100Sec/Setter100Sec/SetterSetter SizeSetter Size2500mmW2200mmL5mmT2500mmW2200mmL5mmT单边方向进行单边方向进行温度温度ProfileProfile炉出口温度炉出口温度:60:60以下以下排气方式排气方式利用利用FanFan直接排气直接排气有机排气有机排气炉体长度炉体长度温度准于温度准于ProfileProfileHeater Heater 电源电源1 380V 50Hz1 380V 50HzMotor Motor 电源电源3 220V 50Hz3 220V 50Hz控制及冷却控制及冷却FanFan电源电源UPS(1 220V 50Hz)UPS(1 220V 50Hz)COCCOC提供提供Heater Heater 配置配置上部配置上部配置下部下部HeaterHeater必要时考虑必要时考虑T/CT/C配置配置入口入口22次维持区间次维持区间: :左左, ,中中( (上上),),右右冷却区间冷却区间: :左左, ,中中( (上上),),右右Setter Setter 间隙间隙100mm100mm16COCCOC量产用烧结炉烧结炉结构量产用烧结炉烧结炉结构 COCCOC一一期期“烧烧结结炉炉和和退退火火炉炉”（共共8 8台台）选选定定的的制制造造商商为为HanwhaHanwha公司，下面主要以公司，下面主要以HanwhaHanwha的设计方案为依据进行讲解。的设计方案为依据进行讲解。 1) 1) COCCOC所所用用烧烧结结炉炉为为2 2段段加加热热式式烧烧结结炉炉（2 2段段加加热热式式烧烧结结炉：共炉：共3 3层，上层，上2 2层加热，最下层返回。）。层加热，最下层返回。）。 2) 2) 炉炉体体主主要要分分为为入入口口BufferBuffer区区、1 1次次升升温温区区、1 1次次保保温温区区、2 2次次升升温温区区、2 2次次保保温温区区、徐徐冷冷区区、快快速速冷冷却却区区、Return Return C/VC/V、背面、背面CleanerCleaner。17COCCOC量产用烧结炉炉体介绍量产用烧结炉炉体介绍 1 1）为为了了避避免免在在烧烧结结过过程程中中炉炉体体产产生生灰灰尘尘对对基基板板造造成成污污染染，在在烧烧结结炉炉炉炉体体的的1、2层层炉炉体体顶顶部部和和两两侧侧均均采采用用Neoceram glass做做muffle，而，而入口入口 C/V和返回部和返回部采用采用SUS304制作制作muffle； 2）为了隔热每层炉体底部均采用）为了隔热每层炉体底部均采用coating材质制作材质制作; 3）为为了了避避免免setter在在传传送送过过程程中中同同roller摩摩擦擦产产生生灰灰尘尘从从而而达达到到改改善善炉炉体体内内部部的的洁洁净净度度的的目目的的，1、2层层roller采采用用陶陶瓷瓷材材质质，而而返回部返回部为了达到良好的冷却效果，采用不锈钢和陶瓷材质制作；为了达到良好的冷却效果，采用不锈钢和陶瓷材质制作； 4）炉炉体体的的cover采采用用SUS和和涂涂装装材材料料制制作作；在在cover和和内内壁壁间间的隔热材料的隔热材料采用陶瓷材质制作。采用陶瓷材质制作。 5）设备）设备cover表面温度：表面温度：room temp20以下。以下。Neoceram glassNeoceram glass：陶瓷微晶玻璃或陶瓷结晶化玻璃。：陶瓷微晶玻璃或陶瓷结晶化玻璃。优点：优点：1 1、良好的耐热冲击性能；、良好的耐热冲击性能；2 2、低膨胀系数；、低膨胀系数；3 3、电气导热性佳。、电气导热性佳。18升温区、保温区剖面图升温区、保温区剖面图COCCOC量产用烧结炉炉体介绍量产用烧结炉炉体介绍 19徐冷区剖面图徐冷区剖面图徐徐冷冷下下部部组组成成COCCOC量产用烧结炉炉体介绍量产用烧结炉炉体介绍 20COCCOC量产用烧结炉加热器、量产用烧结炉加热器、T/C T/C 炉体内温度探测炉体内温度探测T/CT/C的设置：的设置： 加加热热区区T/CT/C是是3 3个个/Zone/Zone来来进进行行温温度度控控制制（在在宽宽度度方方向向左左、中中、右右方方向向设设置置，分分为为三三个个区区进进行行控控制制）；在在加加热热区区过过渡渡到到保保温温区区的的分分界界处处T/CT/C设设置置为为6 6个个/Zone /Zone ；在在退退火火区区温温度度T/CT/C设设置置左左、中中、右右44列列 1212个个/Zone/Zone来来进进行行控控制（分为制（分为1212个区进行温度控制）。个区进行温度控制）。 加热器设置加热器设置：陶瓷红外加热，上部设置。：陶瓷红外加热，上部设置。加热器数量加热器数量：4EA/zone4EA/zone21炉体内温度探测炉体内温度探测T/CT/C的设置的设置COCCOC量产用烧结炉加热器、量产用烧结炉加热器、T/C T/C 22COCCOC量产用烧结炉温度控制系统量产用烧结炉温度控制系统 1 1）加热区温度的控制方式：）加热区温度的控制方式： SCRSCR采采用用PIDPID连连续续性性反反馈馈方方式式，控控制制温温度度均均匀匀性性好好，由由于于价格昂贵只能选择性地使用在价格昂贵只能选择性地使用在heating 1heating 1和和heating 2#heating 2#； SSRSSR采采用用PID PID on/offon/off反反馈馈方方式式，因因此此用用在在温温度度较较容容易易控控制制的保温区和退火区。的保温区和退火区。2 2）快速冷却区：）快速冷却区： 在在每每个个区区的的顶顶部部和和底底部部设设置置冷冷却却板板并并导导入入冷冷却却水水（pcwpcw）来来实实现现基基板板的的冷冷却却，同同时时中中部部通通入入低低压压CDACDA。ReturnReturn部部、急急速速冷冷却却部部、入入口口部部3 3处处( (左左、中中、右右) )安安装装可可测测量量基基板板温温度的非接触式温度度的非接触式温度SensorSensor并在面板上进行温度显示。并在面板上进行温度显示。 PID PID：Proportional-Integral-DerivativeProportional-Integral-Derivative，即比例积分微分。，即比例积分微分。 PID PID是依据瞬时误差（设定值与实际值的差值）随时间的变化量来对加热是依据瞬时误差（设定值与实际值的差值）随时间的变化量来对加热器的控制进行相应修正的一种方法。器的控制进行相应修正的一种方法。 23COCCOC量产用烧结炉送气与排气系统量产用烧结炉送气与排气系统 1 1）进气系统：高压）进气系统：高压CDACDA由由COCCOC提供提供 进气管材料：不锈钢材质；进气管材料：不锈钢材质； 进气控制：流量计进气控制：流量计valvevalve。2 2）徐冷区冷却气体进气系统：）徐冷区冷却气体进气系统： 冷却气体由安装在设备上的冷却气体由安装在设备上的fanfan从从clean roomclean room采集；采集； 进气管材料：不锈钢材质；进气管材料：不锈钢材质； 进气控制：节气闸。进气控制：节气闸。3 3）return C/Vreturn C/V冷却气体进气系统：冷却气体进气系统： 安装在设备上的安装在设备上的fanfan从从clean roomclean room采集；采集； 进气管材料：进气管材料：Al; Al; 进气控制：节气闸。进气控制：节气闸。241 1）有机排气系统：直接排气；）有机排气系统：直接排气； 排气管材料：不锈钢；排气管材料：不锈钢； 排气控制：节气闸。排气控制：节气闸。2 2）热排气系统：直接排气系统；）热排气系统：直接排气系统； 排气管材料：不锈钢。排气管材料：不锈钢。3 3）return C/Vreturn C/V热排气系统：直接排气系统热排气系统：直接排气系统 排气管材料：不锈钢。排气管材料：不锈钢。 4 4）设备表面的供排气系统：直接进气和排气；）设备表面的供排气系统：直接进气和排气； 导管材料：螺旋输送管。导管材料：螺旋输送管。COCCOC量产用烧结炉送气与排气系统量产用烧结炉送气与排气系统 25供气供气/ /排气数、排气数、ValveValve位置位置ZoneZone供气数供气数排气数排气数ValveValve风速风速Check HoleCheck Hole备注备注EA/ZoneEA/ZoneEA/ZoneEA/ZoneEA/ZoneEA/ZoneEA/ZoneEA/Zone1 1次升温次升温2 22 22 22 2排气：直接排气排气：直接排气 左左-1-1、右、右-1-11 1次保温次保温2 22 22 22 22 2次升温次升温2 22 22 22 22 2次保温次保温退火退火1 11 11 11 1急速冷却急速冷却供气使用的供气使用的Air是洁净间的是洁净间的AirCOCCOC量产用烧结炉送气与排气系统量产用烧结炉送气与排气系统 26有机排气有机排气SystemSystem及工程及工程ScopeScope概略图概略图检查口密封机排气FANCOC1次 生温1次Keep2次 升温2次 Keep退火 Zone急速冷却LifterDamper ValveCOCCOC量产用烧结炉送气与排气系统量产用烧结炉送气与排气系统 27COCCOC量产用烧结炉载板量产用烧结炉载板 1 1）载板的作用）载板的作用： PDPPDP基基板板玻玻璃璃在在烧烧结结后后的的变变形形、翘翘曲曲对对印印刷刷封封接接非非常常有有害害，严严重重影影响响显显示示图图象象质质量量。减减小小变变形形的的方方法法是是烧烧成成时时在在基基板板玻玻璃下垫一块衬板。璃下垫一块衬板。2 2）载板的种类）载板的种类a a）大大理理石石衬衬板板：平平整整度度高高、热热容容量量适适中中，但但热热冲冲击击性性能能差差、寿命短。寿命短。b b）球墨铸铁衬板：）球墨铸铁衬板：热稳定性好，但热容量太大。热稳定性好，但热容量太大。c c）微微晶晶玻玻璃璃衬衬板板：热热容容量量小小、轻轻便便，但但热热稳稳定定性性较较差差，多多次次烧结会变形。烧结会变形。28适用适用SetterSetter的尺寸的尺寸22002550COCCOC量产用烧结炉载板量产用烧结炉载板 29COCCOC量产用烧结炉各部分的功能、温度与规格量产用烧结炉各部分的功能、温度与规格入口入口BufferBuffer区区功能：为功能：为C/RC/R的空气不流入到炉内做好充分的对策。的空气不流入到炉内做好充分的对策。规格：规格：SetterSetter移送移送 : : 连续驱动；连续驱动；炉内壁材质炉内壁材质 : : 用用NeoceramNeoceram防止炉内污染；防止炉内污染； 外部气体流入防止对策外部气体流入防止对策: : 入口处安装入口处安装ShutterShutter。30COCCOC量产用烧结炉各部分的功能、温度与规格量产用烧结炉各部分的功能、温度与规格 1 1次升温区次升温区 常用温度常用温度:23:23350 350 最高温度：最高温度：400400 1 1次保温区次保温区 常用温度：常用温度：350350450450 2 2次升温区次升温区 常用温度：常用温度：350350580580 2 2次保温区次保温区 常用温度：常用温度：580580规格规格：炉内壁材质：用炉内壁材质：用NeoceramNeoceram防止炉防止炉内污染；内污染；温度控制方式：温度控制方式：PIDPID控制；控制；SetterSetter移送方式：连续驱动；移送方式：连续驱动；SetterSetter移送速度：移送速度： 600 6001000mm/min1000mm/min（基准：（基准：690mm/min690mm/min）；）；Heater MaxHeater Max设计规格设计规格 : : Tact(100Sec/Setter)115%Tact(100Sec/Setter)115%；Heater Heater 位置位置 : : 上上( (左左- -中中- -右右)Zone)Zone个别控制。个别控制。31COCCOC量产用烧结炉各部分的功能、温度与规格量产用烧结炉各部分的功能、温度与规格 徐冷区徐冷区 常用温度：常用温度：580580320320 上部：加热上部：加热 下部：冷却下部：冷却 规格：规格： 炉内壁材质：用炉内壁材质：用NeoceramNeoceram防止炉内污染；防止炉内污染； 温度控制方式：温度控制方式：PIDPID控制；控制； Setter Setter移送方式：间歇驱动；移送方式：间歇驱动； Setter Setter移送速度：移送速度：400040007200mm/min7200mm/min； 冷却最大设计规格冷却最大设计规格 : : Tact(100Sec/Setter)115% Tact(100Sec/Setter)115%（出口温度（出口温度350350以下）；以下）； 外部气体流入防止对策：出口安装外部气体流入防止对策：出口安装ShutterShutter。32 急速冷却区急速冷却区 常用温度：常用温度：320320250250以下以下 冷却组成：上部冷却组成：上部/ /下部冷却下部冷却 规格：规格： 温度控制方式：温度控制方式： 冷却水冷却水& &高效空气过滤器过的空气（高效空气过滤器过的空气（InverterInverter控制）；控制）； Setter Setter移送方式：间歇驱动；移送方式：间歇驱动； Setter Setter移送速度：移送速度：400040007200mm/min7200mm/min； 冷却最大设计规格冷却最大设计规格 : : Tact(100Sec/Setter)115% Tact(100Sec/Setter)115%（出口温度（出口温度250250以下）。以下）。COCCOC量产用烧结炉各部分的功能、温度与规格量产用烧结炉各部分的功能、温度与规格33 Return C/V& Return C/V&背面背面CleanerCleaner 常用温度：常用温度：6060以下以下 规格：规格： Setter Setter移送方式：连续驱动；移送方式：连续驱动； 排放前排放前Centering UnitCentering Unit安装；安装； 确保确保Buffer Zone 5Buffer Zone 5个以上。个以上。COCCOC量产用烧结炉各部分的功能、温度与规格量产用烧结炉各部分的功能、温度与规格34COCCOC量产用烧结炉基本流程量产用烧结炉基本流程 Flow 基本作用与内容基本作用与内容备注备注入口入口Buffer C/V与与1 1次升温同期驱动的同时移送到次升温同期驱动的同时移送到1 1次升温区次升温区, ,安装能够阻断安装能够阻断在在C/RC/R中流入的气流的中流入的气流的shuttershutter连续驱动连续驱动1次升温次升温用已具备的用已具备的Heating RateHeating Rate加热的同时加热的同时, , 供气供气/ /排气排气 ，进行，进行Binder Burnout,Binder Burnout,使得炉内部总是保持使得炉内部总是保持 Clean Clean状态状态连续驱动连续驱动1次次Keeping同同ProfileProfile一起进行一起进行 1 1次次 维持维持, ,供气供气/ /排气，进行排气，进行 Binder Binder Burnout,Burnout,使得炉内部总是保持使得炉内部总是保持CleanClean状态状态连续驱动连续驱动2次升温次升温用已具备的用已具备的Heating RateHeating Rate加热的同时加热的同时, , 供气供气/ /排气，进行排气，进行Binder Burnout, Binder Burnout, 使得炉内部总是保持使得炉内部总是保持 Clean Clean状态。状态。连续驱动连续驱动2次次Keeping同同ProfileProfile一起进行一起进行 2 2次次 维持，材料烧结，使得炉内部总维持，材料烧结，使得炉内部总是保持是保持 Clean Clean状态状态连续驱动连续驱动冷却区（徐冷冷却区（徐冷+急急速冷却）速冷却）用用Tact Tact 驱动冷却到驱动冷却到SettingSetting后的温度后的温度Tact 驱动驱动Lifter将冷却区间里被移送到的将冷却区间里被移送到的Setter&PanelSetter&Panel搬运到搬运到 Return Return Conveyor, Conveyor, 移送到最小移送到最小80Sec/Setter80Sec/Setter的的 Tact Tact返回返回 C/V（急速（急速冷却区冷却区+C/V）处理时注意不要让异物从外部流入处理时注意不要让异物从外部流入, , 并维持水压并维持水压, ,用用Hepa Hepa Filter BlowerFilter Blower供应供应 Clean Air Clean Air 急速冷却急速冷却Setter背面背面CleanerSetterSetter下部的异物，随着下部的异物，随着SetterSetter移动，用含有水分的移动，用含有水分的Sponge RollerSponge Roller自动清洗自动清洗35COCCOC量产用烧结炉烧结炉示意图量产用烧结炉烧结炉示意图一个温度曲线一个温度曲线 36505050502,3281,926九九点点温温度度测测定定法法COCCOC量产用烧结炉温度均一性规格量产用烧结炉温度均一性规格37区分区分 备注备注PanelPanel左左 中中 右右PanelPanel左左 中中 右右PanelPanel左左 中中 右右1 1次升温次升温555555连续连续驱动驱动1 1次次KeepingKeeping3333332 2次升温次升温5555552 2次次KeepingKeeping333333退火退火555555Tact Tact 驱动驱动：5(5(全面积全面积) )急速冷却急速冷却COCCOC量产用烧结炉温度均一性规格量产用烧结炉温度均一性规格38COCCOC量产用烧结炉设备的维护及维修量产用烧结炉设备的维护及维修 1 1）在在设设备备运运转转初初期期，对对炉炉体体内内部部的的清清洁洁采采用用1 1次次/ /月月（前前三三个个月月），主主要要对对炉炉体体内内部部四四周周和和rollerroller的的清清洁洁；以以后后采采用用1 1次次/2/23 3月（一年内）；一年后采用月（一年内）；一年后采用1 1次次/ /半年；半年； 2 2）供排气管道采用便于清理的设计；）供排气管道采用便于清理的设计； 3 3）设设备备内内关关键键零零部部件件（rollerroller、sensorsensor和和heaterheater）采采用用台台架容易更换的方式。架容易更换的方式。39谢谢 谢谢40