NXT-II教育訓練教育訓練NXTLEVEL1NXTLEVEL1V2.0V2.0技鼎機電技鼎機電(上海上海)有限公司有限公司目錄1.NXT-II概述概述2.NXT-II的特點的特點3.NXT-II構成及規格構成及規格(一一、二代差異二代差異)3.1 基座基座規格3.2 模組模組規格3.3 貼裝工作頭介紹規格3.4 Nozzle Station介紹及吸嘴介紹3.5 主搬運軌道電路板規格3.6 影像處理單元3.7 切刀機構3.8 M3和M6的比較3.9 供料系統(FEEDER種類、MTU單元、拋料輸送帶)3.10 電器分佈控制方式4.功能說明功能說明4.1 吸取位置檢測4.2 雙模組生產（M3模組）4.3 Z0感測器4.4 自動校正功能4.5 加壓控制功能4.6 壓入貼裝功能5.關聯軟體關聯軟體5.1 NXT輔助軟體5.2 Fujitrax5.3 FujiFlexa目錄6.NXT基本操作基本操作6.1 NXT-II操作面板說明6.1.1操作面板各按鍵介紹6.1.2基本操作畫面介紹 6.1.3Cycle StopStopE-Stop的區別6.2 相關操作6.2.1NXT-II開關機操作6.2.2生產程式傳送 6.2.3換線的基本流程6.2.4機器的自動校正過程6.2.5更換FEEDER目錄6.2.6更換Placing Head 6.2.7更換Back up Plate 6.2.8更換Nozzles6.2.9Feeder Pallet與MTU-LT、MTU-M互換6.2.10用MCU卸下Module6.2.11基本操作注意事項7.NXT基本保養基本保養7.1 日保養(24Hours)7.1.1廢料回收 7.1.2廢料箱回收目錄7.2 周保養(160Hours)7.2.1吸嘴內部清潔 7.2.2機台內部清潔 7.2.3Parts Camera表面7.2.4Nozzle station內部清潔7.2.5清潔Feeder pallet7.3 月保養(700Hours)7.3.1清潔MTU的輸送軌道和拋料輸送帶7.3.2清潔Feeder7.3.3基板夾塊加油7.3.4清潔真空過濾棉7.3.5潤滑Shaft和O Ring上油7.3.6雙搬運、單搬運軌道加油目錄7.4 三個月保養(2000Hours)7.4.1支撐塊加油7.4.2Feeder加油保養7.4.3傳送帶張緊度檢查及清潔7.5 六個月保養(4000Hours)7.5.1Y-axis 注油潤滑7.5.2X；XS-axis注油潤滑7.6 每年保養(8000Hours)7.6.1清潔空氣調節器的篩檢程式目錄7.7 一年半保養(12000Hours)7.7.1各類型HEAD驅動部分加油7.7.2濕氣篩檢程式清潔7.7.3真空泵篩檢程式清潔7.7.4料盤元件-L風扇篩檢程式的清掃7.7.5料盤單元-L驅動部的加油7.7.6料盤單元-L皮帶張緊度的確認及調整目錄NXT-II概述概述模組基座料盤單元NXT-II概述概述操作面板主開關搬運軌道基座模組XY機械手廢料帶回收箱不良元件盒NXT-II的特點的特點n2.1可以針對多種生產物件可以針對多種生產物件 工作頭安裝在XY 機械手上。工作頭可以從主要對應晶片零件選擇H01、H02、H04、H08、H12的吸嘴類型，可以選擇最合適的機械機構來對應各種各樣的生產品種。n2.2可以實現快速換線可以實現快速換線能簡單的進行工作頭的裝卸。從而可以根據生產或是生產品種的變化進行快速換線，並且由於在更換工作頭以及其他各種單元後自動進行校正，省去了由操作者執行的繁瑣初期設定，可將停機時間限制在最小。n2.3可以使用雙搬運軌道可以使用雙搬運軌道基板搬運可以從雙搬運軌道方式/單搬運軌道方式進行選擇，雙搬運軌道時的基板搬運時間為零，實現高生產性。 NXT-II的特點的特點n2.4穩定的零件供料器穩定的零件供料器零件供料器採用馬達驅動方式，新開發的結構簡單，送料功能穩定和成本低的供料器。此新型供料器可以在機器運動中進行脫卸，也可以在機器稼動中進行料帶的拼接。n2.5易於掌握的操作介面易於掌握的操作介面配置有初學者也能容易掌握的，採用直觀方式的操作畫面。從而可以大幅削減操作人員的教育時間，減少客戶在導入機器到實際生產之間的所需時間。此外，這是一個在多個模組構成狀態時可作為一台機器進行操作，在維修保養時可以單一模組進行操作的操作體系n2.6可以實現不停產檢修可以實現不停產檢修可以從第一個模組開始依次以M3模組*2台(或者以M6模組*1台)的單位，進行各個模組的切換。如果有單一的模組故障，可以立即進行更換，實現不停線檢修。 NXT-II構成規格構成規格n3.1基座基座規格基座分為寬度為4MIIII類型和2MII類型2種。NXT-II構成規格構成規格n3.2模組模組規格模組分為寬度為325mm的M3類型和寬度為650mm的M6類型2種。M3IIM6IINXT-II構成規格構成規格模組的寬度包含了模組與模組之間的5mm 間隔。在模組的實際尺寸（M3：320mm，M6：645mm）上加上模組之間的5mm間隔後的值NXT-II構成規格構成規格n3.3 貼裝工作頭介紹規格根據物件的不同，可以從H12型、H08型、H04型、 H02 型、 H01型中進行選擇。NXT-II構成規格構成規格NXT-II構成規格構成規格NXT-II構成規格構成規格NXT-II構成規格構成規格NXT-II構成規格構成規格類型ND32CNE18ANE12LANC03BNC08BNC8LB放置吸嘴數321812388對象吸嘴H12/H08H04工作頭用H01、H02工作頭用物件模組M3、M6共用M3、M6共用M6(料盤單元-L旁)M3M6M6(料盤單元-L旁)n3.4 Nozzle Station介紹及吸嘴介紹NozzleStation為將置件工作頭上搭載的吸嘴自動進行交換的單元。搭載類型根據置件工作頭種類、模組種類而不同。NXT-II構成規格構成規格NXT-II構成規格構成規格Nozzle TypeNozzle TypeH0812H08120.30.40.40.50.70.71.0 1.0 1.31.3 1.3M 1.3M 1.8 1.8 1.8M 1.8M 2.52.53.73.7 3.7G 3.7G 5.05.0 5.0G 5.0GH04 H04 0.70.71.0 1.0 1.3 1.3 1.3M 1.3M 1.81.8 1.8M 1.8M 2.52.5 2.5G 2.5G 3.73.7 3.7G 3.7G 5.05.0 5.0G 5.0G 7.07.0 7.0G 7.0G 10.010.0 10.0G 10.0G 15.015.0 15.0G 15.0G H01H01H02 H02 1.0 1.0 1.31.3 1.3M 1.3M 1.81.8 1.8M 1.8M 2.52.5 2.5G 2.5G 3.73.7 3.7G 3.7G 5.05.0 5.0G 5.0G 7.07.0 7.0G 7.0G 10.010.0 10.0G 10.0G 15.015.0 15.0G 15.0G 20.020.0 20.0G 20.0G 備註：備註：M表示針對表示針對MELF型元件使用的吸嘴；型元件使用的吸嘴；G表示有橡膠襯墊的吸嘴表示有橡膠襯墊的吸嘴NXT-II構成規格構成規格NXT-II構成規格構成規格n3.5主搬運軌道電路板規格基板搬運軌道使用標準配置的馬達進行自動寬度調整。沒有基板停止時對基板的衝擊，並可以方便的進行基板搬運方向的變換。雙搬運軌道不僅可以搬運/生產同種類型的基板，而且可以搬運/生產不同類型的基板, 兩個搬運軌道的寬度可以獨立變換。配合所生產基板的尺寸交換支撐板。NXT-II構成規格構成規格項項目目規格規格電路板搬運方向電路板搬運方向左左右、右右、右左左搬運高度搬運高度900(+15 900(+15 、-5)mm -5)mm 、(950(+15 (950(+15 、-5)mm) -5)mm) 可以在購買機器時選擇搬可以在購買機器時選擇搬運高度規格運高度規格搬運方式搬運方式傳送帶搬運傳送帶搬運電路板搬運時間電路板搬運時間雙搬運軌道雙搬運軌道連續運轉時連續運轉時0sec0sec單搬運軌道單搬運軌道2.5sec(M3 2.5sec(M3 II各模組間搬運各模組間搬運) )3.4sec(M63.4sec(M6II 各模組間搬運各模組間搬運) )最大搬運能力最大搬運能力MAX 1.5kg (MAX 3kg MAX 1.5kg (MAX 3kg 為止時，使用滾輪搬運為止時，使用滾輪搬運) )搬運軌道寬度變換搬運軌道寬度變換以面前一側的軌道為基準，使用馬達改變從屬側軌道寬度以面前一側的軌道為基準，使用馬達改變從屬側軌道寬度NXT-II構成規格構成規格項項目目規規格格電路板尺寸電路板尺寸MIN 48(W)48(L) MIN 48(W)48(L) MAX 510(W)534(L) (MAX 510(W)534(L) (雙搬運軌道規格機器雙搬運軌道規格機器) )MIN 48(W)48(L) MIN 48(W)48(L) MAX 610(W)534(L) (MAX 610(W)534(L) (單搬運軌道規格機器單搬運軌道規格機器) ) 厚度厚度 0.40.46mm (6mm (未滿未滿0.4mm 0.4mm 時，需要另外商洽。時，需要另外商洽。) ) 注意注意1.1.雙搬運軌道搬運時，最大為雙搬運軌道搬運時，最大為280(W)mm280(W)mm。280(W)mm280(W)mm以上為單搬運軌道搬運。以上為單搬運軌道搬運。2.2.薄於薄於0.4mm 0.4mm 的電路板的對應為選項。的電路板的對應為選項。3.3.在在M3M3模組上生產模組上生產250(L)mm 250(L)mm 以上的電路板時，為雙模組生產。此外，雖以上的電路板時，為雙模組生產。此外，雖然使用然使用M3M3模組時貼裝範圍的為模組時貼裝範圍的為250(L)mm250(L)mm，但是可以搬運最大至，但是可以搬運最大至305(L)mm305(L)mm的電路板。在此情況下，對超過的電路板。在此情況下，對超過250(L)mm 250(L)mm 貼裝範圍外的部分，最後必須貼裝範圍外的部分，最後必須由由M6M6或者或者M3M3雙模組進行貼裝。雙模組進行貼裝。NXT-II構成規格構成規格n3.6 影像處理單元通過固定在各個模組上的相機單元，對吸取的零件進行影像處理以及置件時的補正。零件的影像處理全部使用前光處理(反射型影像處理方式)。照明方式前光（侧光）視野52.1mm（标准相机及侧光相机）零件尺寸060374mm(32x180)超過45mm尺寸的零件，通過分割取像處理引腳錫球最小間距(mm)0.24 0.40 最小寬度/直徑(mm)0.12 0.25 最小間隔(mm)0.12 0.15 NXT-II構成規格構成規格NXT-II構成規格構成規格n通過安裝在各個模組的工作頭部的相機單元，對基板上的基準定位點進行影像處理，用於讀入基板的位置以及放置零件時的補正。此外，可以讀入基板上的2D代碼，以此識別基板的種類。(Fujitrax的選項功能)相機視野9.1mm基準定點尺寸Min 0.5mm其他Min 0.2mm(圆形)NXT-II構成規格構成規格n3.7 切刀機構NXT-II構成規格構成規格n3.8 M3模組和M6模組的比較M3IIM6II佔用佔用Base數量數量12模組功率模組功率0.8KVA（平均）（平均）0.9KVA（平均）（平均）模組重量模組重量355KG520KG寬度寬度325mm（實際寬度（實際寬度320mm）650mm（實際寬度（實際寬度645mm）置件工作頭置件工作頭V12H12HSH08H04H04SG04H02H01(OF H08M head只对应只对应M6 )料站數量料站數量2045是否支持是否支持Tray不支持不支持支持支持NXT-II構成規格構成規格n3.9供料系統NXT-II構成規格構成規格MTU-LNXT-II構成規格構成規格MTU-LTNXT-II構成規格構成規格MTU-MNXT-II構成規格構成規格NXT-II構成規格構成規格W104供料器 104 mm宽度料带NXT-II構成規格構成規格nW8供料器供料器NXT-II構成規格構成規格NXT-II構成規格構成規格nW04b、W08b/W08c供料器供料器NXT-II構成規格構成規格NXT-II構成規格構成規格nW12/W12c、W16/W16c、W24/W24c供料器供料器NXT-II構成規格構成規格NXT-II構成規格構成規格nW32/W32cW88供料器供料器NXT-II構成規格構成規格NXT-II構成規格構成規格n3.10 電器分佈控制方式NXT-II構成規格構成規格NXT-II構成規格構成規格NXT-II構成規格構成規格NXT 一代4M BaseNXT-II構成規格構成規格M6M3NXT-II構成規格構成規格NXT-II構成規格構成規格NXT-II構成規格構成規格NXT-II構成規格構成規格NXT-II構成規格構成規格M3II雙軌道雙軌道NXT-II構成規格構成規格NXT-II構成規格構成規格M6II雙軌道雙軌道NXT-II構成規格構成規格NXT-II構成規格構成規格MTU-LNXT-II構成規格構成規格NXT-II構成規格構成規格NXT-II構成規格構成規格NXT-II構成規格構成規格MTU-LTNXT-II構成規格構成規格NXT-II構成規格構成規格NXT-II構成規格構成規格NXT-II構成規格構成規格MTU-MNXT-II構成規格構成規格NXT-II構成規格構成規格H12HSHEADNXT-II構成規格構成規格H12(S)HEADNXT-II構成規格構成規格H08HEADNXT-II構成規格構成規格H04HEADNXT-II構成規格構成規格H02HEADNXT-II構成規格構成規格H01HEADNXT-II構成規格構成規格項目規格座標控制方式絕對值指令置件工作頭可以進行加減速設定（3段式）控制軸數X,Y,Z,Q,XS,R,TY,TZ全412軸（根據模組/工作頭/料站的規格而不同） XS軸為M3模組專用、R軸為H12/H08/H04工作頭專用、TY,TZ軸為盤單元-L專用最大輸入順序數置件 2000順序1模組 定位點 3505 順序1模組最大輸入區段數1000區段1Job 輸入資料方式（最小單位）Fuji Flexa X,Y,Z，0.01mm Q軸0.01通訊功能網路對應（以太網路）視覺認識補正基板位置偏差/零件吸取偏差自動校正在工作頭/吸嘴置放台/供料器/料盤單元/相機等交換後，自動識別其種類和位置操作面板操作員面板在機上進行操作工程面板 在其他電腦上進行操作NXT-II構成規格構成規格1.資料通訊時，通過Fuji Flexa進行。使用Fuji Flexa時，需要安裝軟體用的PC以及該軟體。2.請客戶在機器到達前，事先準備好工程面板所用電腦。請客戶在機器到達前，事先準備好乙太網連線。（推薦使用100BASE-TX cable 100m以內）3.對於NXT，將複數基座和模組連接後可以作為1台機器使用。可以連接的模組最大台數，M3模組時為32個模組，M6模組時為其一半。在要構成超過32個模組的生產線時，可以通過在生產線中間設定複數機器的方法，使其成為可能。(使用Fuji Flexa進行設定。)功能說明功能說明n4.1吸取位置檢測吸取位置檢測進行吸取位置的檢測，從而確保完成供料器交換後/供料托架交換後/置件工作頭交換後，所進行的第1次吸取時，可以準確無誤。n4.2雙模組生產（雙模組生產（M3模組）模組）在使用M3模組進行長度超過250mm基板生產的場合，可以使用2台M3模組進行同一塊基板的生產。置件工作頭部可以深入移動到鄰近模組的區域進行置件，由此消除置件時的死角。功能說明功能說明n4.3Z0感測器感測器測定置件高度基準的感測器。n4.4自動校正功能自動校正功能可以自動補正置件精的功能。需要另外準備校正用的吸嘴治具。功能說明功能說明n4.5 加壓控制功能加壓控制功能此功能控制施加在元件上的壓力，僅限於H01工作頭、H02工作頭的功能對應範圍：H01、H02:2.29.8Nn4.6壓入貼裝功能壓入貼裝功能此功能對應需要進行壓入貼裝的元件，僅限於H01工作頭、H02工作頭及OF工作頭的功能對應範圍：H01、H02:39.298N OF :39.298N關聯軟體關聯軟體n5.1 NXT輔助軟體輔助軟體使用獨立於機器本體控制的軟體。通過此軟體對機器進行各種設定。並支援機器的維修保養/檢點等工程作業。NXT輔助軟體主要有以下的功能。n資料管理功能n資料編輯功能n維修保養支援功能需另外準備安裝NXT輔助軟體的PC。關聯軟體關聯軟體n5.2 Fujitrax這是一個對SMT生產線上的粘著機的置件零件實現高效管理的系統。使用它管理零件殘數，料卷零件的各個資訊，供料器資訊以及生產程式的料站資訊。通過與NXT智慧供料器的共同使用，可以實現防止零件置件錯誤/零件料盡預告/供料器的管理等功能，並能有效提高機器稼動率，防止錯件基板的發生。此外，可以對每塊基板取得跟蹤，防止錯件情況的發生。n5.3FujiFlexaFuji Flexa是一個生成生產任務(JOB)，進行機器控制和生產情報統計的軟體。NXT粘著機的JOB資料管理在FujiFlexa上進行。關聯軟體關聯軟體NXT基本操作n6.1介面介紹介面介紹 6.1.1 操作面板各按鍵介紹NXT基本操作6.1.2 基本操作畫面介紹NXT基本操作NXT基本操作NXT基本操作6.1.3 StopCycle StopE-Stop的區別STOPNXT基本操作CycleSTOPE-StopNXT基本操作n6.2 相關操作相關操作6.2.1 NXT開關機操作開機：在機器處於關閉狀態時打開總電源開關，NXT自行啟動，啟動以後自行進入睡眠狀態（顯示幕顯示黑色）。按下Power鍵就可以將NXT從睡眠狀態喚醒進入正常狀態。 關機：（在生產停止狀態）按下Power鍵4秒左右，NXT將進入睡眠狀態。關閉總開關即可安全關閉NXT。NXT基本操作NXT基本操作整條生產線同時開關機的方法:開機在NXT總電源全部打開以後，模組進入睡眠狀態，然後先按住Group鍵，然後按住Power鍵1秒種左右，然後鬆開Power鍵，再鬆開Group鍵，就可以實現整條線的同時開機關機同樣先按住Group鍵，然後按住Power鍵4秒種以上，然後鬆開Power鍵，再鬆開Group鍵，就可以實現整條線的同時睡眠；然後關閉NXT總電源即可安全關閉NXTNXT基本操作n6.2.2 生產程式的傳送NXT基本操作NXT基本操作基本過程：先在Fuji Flexa的Director選中“Transmission”再選中需要傳輸的JOB，拖到需要生產的機器上確認後，點擊Send注意事項：q單選中Transmit to Foreground/current後進行傳送則將程式直接傳送到機器前臺，當前的機器必須處於停止狀態。（按Cycle Stop），然後NXT就可以進行生產了。q單選中Overwrite the recipe with background傳送程式，則將程式傳送到機器後臺，要在NXT上將後臺程式的切換到前臺才可以進行該程式的生產。q兩個全部選中的話，前後臺都會傳送到程式，且會覆蓋以前的前後臺程式。q在切換後臺程式前要確認HeadNozzle StationFeeder料件頂Pin等是否和將要生產的程式相符合。（注：將程式傳送至前臺時，機器內須無PCB存在，否則機台將會報錯；且Monitor上也不應有PCB存在顯示-按START鍵讓該顯示消除即機器自動檢測無PCB存在）NXT基本操作n6.2.3 換線的基本流程1.確認機台內已經無原來的Panel，並將Nozzle歸位2.清潔拋料盒3.清潔Waste tape box4.根據新的生產要求更換Placing Head、Nozzle station、Nozzle和頂 Pin，恢復機器5.傳輸新的生產程式6.上料並進行Placing HeadNozzle stationFeeder程式確認7.如果有必要則要重新架設頂Pin8.機器自動進行初始校正9.試生產NXT基本操作n6.2.4 自動校正的過程1.Nozzle station 2D條碼讀取-判斷裝置的Nozzle station是否為程 式所需要的型號2.Nozzle station Mark點讀取-判斷裝置的Nozzle station位置是否 安裝正確3.各吸嘴2D條碼讀取-判斷Nozzle station中裝有的Nozzle是 否滿足程式所要求的（紅燈，綠燈區別）4.零件相機上玻璃板4點讀取-判斷Part Camera的中心位置5.Placing Head中心4點讀取-判斷Placing Head中心6.軌道Mark點讀取-判斷軌道位置7.Feeder Mark點讀取-判斷Feeder安裝是否符合程式要求8.按程式要求裝著所需的Nozzle9.吸嘴中心檢測-檢測吸嘴中心NXT基本操作n6.2.5 更換FEEDERNXT基本操作NXT基本操作NXT基本操作NXT基本操作NXT基本操作NXT基本操作n6.2.6 更換Placing HeadNXT基本操作NXT基本操作NXT基本操作n6.2.7 更換 Back-up PlateNXT基本操作NXT基本操作n6.2.8 更換NozzleNXT基本操作NXT基本操作NXT基本操作n6.2.9 Feeder Pallet與MTU-LT、MTU-M互換NXT基本操作NXT基本操作NXT基本操作MTU-L拆除與安裝拆除與安裝卸除廢料箱拆除供料托架並拉出模組NXT基本操作拆除供料器安裝部蓋板拆除廢料帶導料槽NXT基本操作拆下不良元件排出盒、移動原件相機的安裝位置、安裝對應於MTU-L的Nozzle Station後將模組復位NXT基本操作安裝安裝MTU-LNXT基本操作MTU-LT拆除與安裝拆除與安裝卸除廢料箱拆除供料托架並拉出模組NXT基本操作拆除基座主電源開關後面板安裝電源開關NXT基本操作拆除供料器安裝部蓋板拆除廢料帶導料槽NXT基本操作拆除廢料帶處理箱安裝MTU-LT廢料帶導槽NXT基本操作拆下不良元件排出盒、移動原件相機的安裝位置、安裝對應於MTU-L的Nozzle Station後將模組復位NXT基本操作NXT基本操作安裝安裝MTU-LTNXT基本操作MTU-M拆除與安裝拆除與安裝拆除廢料帶處理箱安裝MTU-M廢料帶導槽NXT基本操作NXT基本操作安裝安裝:將MTU-M中通信插頭插入機器中的插座中後夾緊中央部夾緊桿拆除拆除:拿出MTU中所有料盤後鬆開中央部夾緊桿NXT基本操作n6.2.10 用MCU卸下Module1.拆除Module前下部的cover2.將MCU插入BaseNXT基本操作3.如果有必要則需要進行水準MCU調節 NXT基本操作4.將MCU的旋鈕轉至UNLOCKNXT基本操作5.用命令鬆開Module NXT基本操作6.將Module拉出至阻擋塊的位置NXT基本操作7.關閉Module的電源和氣源，斷開電纜和氣管（有3根氣管和3個電纜 接頭，並要將一個卡扣鬆開）NXT基本操作8.將Module拉出至MCU上，然後旋鈕LOCKNXT基本操作NXT基本操作9.拉出MCU離開Base即完成NXT基本操作n6.2.11 基本操作注意事項1.重啟機台需等待20S以上2.更換生產程式需先把吸嘴放回吸嘴盤內3.不可用手把吸嘴裝於吸嘴頭上4.裝置Feeder時需上下錯開5.頭尾兩站無法放置W12以上的Feeder6.換Feeder時P4的會照Feeder的Mark點，P2的會照Mark點和料帶的 齒輪孔7.不可用手直接撕裂料帶8.不可同時拉出一半以上的模組，以防重心前傾9.不可手動調整軌道NXT基本操作10.清潔或維修機台時需小心軌道兩側的對照式SENSOR11.保養時需儘量避免觸碰機台任何位置的SENSOR12.清潔或保養機台時盡可能不去觸碰紙質的條碼13. OP接料帶時應避免超出料盤直徑以避免卡帶14. Z軸下降時應避免旋轉R軸以避免卡死15. XS軸的安全位置：位於軸後方的三個Sensor必須有兩個為常ON 狀態16.調整軌道變小時需將各模組的頂PIN拆除17. Z軸高度Sensor禁止觸碰18. Head把手嚴禁推拉19.軌道上的取板檔塊開啟後需記得關回20.模組開啟或推回時須注意四周無人NXT基本保養n7.1每天每天(24小時小時)7.1.1 零件回收，廢料箱清潔NXT基本保養n7.2每週每週(160小時小時)7.2.1 吸嘴內部清潔NXT基本保養n7.2.2 機台內部清潔NXT基本保養n7.2.3 Part Camera玻璃表面 NXT基本保養n7.2.4 Nozzle Station內部清潔NXT基本保養n7.2.5 清潔料站平臺和電纜介面NXT基本保養n7.3 每個月每個月(700小時小時)7.3.1清潔Tray-Unit的輸送軌道NXT基本保養n7.3.2 清潔Feeder NXT基本保養n7.3.3 基板夾塊加油 NXT基本保養n7.3.4 清潔真空篩檢程式 NXT基本保養n7.3.5 Shaft和O Ring上油 NXT基本保養n7.3.6單搬運軌道、雙搬運軌道加油 NXT基本保養n7.4每三個月每三個月(2000)7.4.1 支撐塊加油(前方和後方)NXT基本保養n7.4.2 Feeder各部分上油NXT基本保養n7.4.3 傳送帶張緊度檢查及清潔 NXT基本保養n7.5每每6個月個月(4000小時小時)7.5.1 Y-axis 注油潤滑NXT基本保養NXT基本保養NXT基本保養n7.5.2 X；XS-axis注油潤滑NXT基本保養NXT基本保養NXT基本保養n7.6每年每年(8000)小時小時7.6.1 清潔空氣調節器的篩檢程式NXT基本保養n7.7每一年又每一年又6個月個月(12000小時小時)7.7.1 Head 驅動部分加油 NXT基本保養NXT基本保養n7.7.2 濕氣篩檢程式清潔 NXT基本保養n7.7.3 真空泵篩檢程式清潔 NXT基本保養n7.7.4 料盤元件-L風扇篩檢程式的清掃 NXT基本保養n7.7.5 料盤單元-L驅動部的加油 NXT基本保養n7.7.6 料盤單元-L皮帶張緊度的確認及調整