中国科学技术大学物理系微电子专业第三章： 双极型晶体管3.1 基本原理3.2 静态特性3.3 双极晶体管模型3.4 频率响应3.5 功率特性3.6 开关特性3.7 异质结晶体管HBT9/17/20241 中国科学技术大学物理系微电子专业简介双极型器件是电子和空穴两种载流子都参与导电的半导体器件 从P-N结理论的讨论中已知电流输运是由电子和空穴两种载流子组成的，故由P-N结组成的晶体管又称作双极晶体管。双极晶体管是最重要的半导体器件之一。 1947年由贝尔实验室的一个研究小组发明。 9/17/20242 中国科学技术大学物理系微电子专业The ”Planar Process” developed by Fairchild in the late 50s shaped the basic structure of the BJT, even up to the present day. 双极型晶体管9/17/20243 中国科学技术大学物理系微电子专业Modern BJT9/17/20244 中国科学技术大学物理系微电子专业9/17/20245 中国科学技术大学物理系微电子专业Bipolar operationOperation depends on the bias conditionIBICIE9/17/20246 中国科学技术大学物理系微电子专业3.1 3.1 晶体管的基本原理晶体管的基本原理1、基本结构及其杂质分布、基本结构及其杂质分布基本结构基本结构 由两个P-N结共用一个基区组成的。 在两个结中，一个叫发射结，一个叫集电结。中间区域就叫基区，而另两个区与结相对应的被称作发射区和集电区。 器件具有三个电极端子，分别称作发射极，基极和集电极。 9/17/20247 中国科学技术大学物理系微电子专业双极型晶体管n+pnp+np9/17/20248 中国科学技术大学物理系微电子专业晶体管工艺与杂质分布晶体管工艺与杂质分布(a)合金管 杂质分布的特点：三个区内杂质均匀分布，发射结、集电结为突变结 . (b)双扩散管 杂质分布特点：基区为缓变杂质分布，发射区杂质分布也缓变。 9/17/20249 中国科学技术大学物理系微电子专业分类分类 晶体管内部，载流子在基区的传输过程是决定晶体管的增益、频率特性等性能参数的重要指标。在基区宽度确定后，基区杂质分布是影响基区输运过程的关键因素，一般的，可以分为两大类： (a)均匀基区晶体管，传输机构以扩散为主，如合金管和全离子注入管。传输以扩散为主。(b)缓变基区晶体管。如各种扩散管。由于基区中存在自建电场，以漂移为主，9/17/202410 中国科学技术大学物理系微电子专业NPN晶体管共基极(a)、共发射极（b）和共集电极（c）的三种连接法 (a) (b) (c) 9/17/202411 中国科学技术大学物理系微电子专业2、晶体管的放大原理、晶体管的放大原理以均匀基区P-N-P晶体管为例分析其基本物理图象：内部载流子的运动。 电压增益：功率增益：9/17/202412 中国科学技术大学物理系微电子专业P-N-P均匀基区晶体管的物理结构、杂质分布、电场分布和平衡态能带图 9/17/202413 中国科学技术大学物理系微电子专业P-N-P均匀基区晶体管正常偏置条件下的的物理结构、杂质分布、电场分布和平衡态能带图 9/17/202414 中国科学技术大学物理系微电子专业3、晶体管端电流的组成、晶体管端电流的组成工作在放大状态下pnp晶体管的各个电流分量为：IEP：从发射区注入的空穴电流，IEN：从基区注入到发射区的电子电流，ICN：集电区基区结附近的热电子漂移到基区形成的电流，ICP：集电区基区结的空穴注入电流。IBRIEPICP，基区内电子与空穴电流的复合而必须补充的电子电流。 9/17/202415 中国科学技术大学物理系微电子专业Current GainIE=IEp+IEnIC=ICp+ICnIB=IE-IC=IEn+(IEp-ICp)-ICn9/17/202416 中国科学技术大学物理系微电子专业Current Flowemitter current injected into the base base current injected into the emitter recombination in the base current region reverse biased current across the BCJ reverse biased current across the BCJ electron current from the emitter9/17/202417 中国科学技术大学物理系微电子专业4、 晶体管的电流增益晶体管的电流增益直流共基极电流放大系数（或电流增益）的定义为 其中， 发射效率： 基区传输因子 即9/17/202418 中国科学技术大学物理系微电子专业集电极电流表达式：下标CB: 表示C和B结的端电流O: 表示对应的第三端与第二端之间为开态9/17/202419 中国科学技术大学物理系微电子专业共发射极晶体管的电流放大系数（电流增益）为 电路应用中，晶体管的共射级组态最常用，即发射极作为公共端，基极和集电极为输入和输出端。9/17/202420 中国科学技术大学物理系微电子专业5、提高电流增益的一般原则提高电流增益的一般原则 晶体管的电流传输作用是晶体管具有放大能力的基础，晶体管具有放大作用需要满足下列条件，内部：发射结与集电结要相距很近，即WBpn0时 即阴影部分面积9/17/202432 中国科学技术大学物理系微电子专业理想晶体管的电流一电压方程均匀基区P-N-P晶体管电流一电压方程：9/17/202433 中国科学技术大学物理系微电子专业9/17/202434 中国科学技术大学物理系微电子专业由基区内总的少子存贮电荷 可得集电极电流的另一表达式：9/17/202435 中国科学技术大学物理系微电子专业讨论晶体管三个极的电流和基区内的少子分布有关，理想晶体管的基本关系式为： 外加电压通过因子eqV/kT控制边界上的载流子浓度；发射极和集电极电流由边界处的少子浓度梯度给出，这两个电流和基区存贮电荷成正比；P-N-P晶体管的发射效率 基区传输因子 9/17/202436 中国科学技术大学物理系微电子专业2、晶体管的工作状态、晶体管的工作状态 晶体管的工作状态取决于发射结、集电结上所加晶体管的工作状态取决于发射结、集电结上所加的电压极性。的电压极性。放大状态：VEB正偏，VCB反偏；饱和状态：VEB正偏，VCB正偏；截止状态：VEB反偏，VCB反偏；反转状态：VEB反偏，VCB正偏； 饱和状态时，晶体管处于小偏置电压、大输出电饱和状态时，晶体管处于小偏置电压、大输出电流情况，即导通状态。截止状态时，基区内无存流情况，即导通状态。截止状态时，基区内无存贮电荷，集电极电流接近贮电荷，集电极电流接近0，即关断状态。反转，即关断状态。反转状态时，电流增益小于放大状态，因为集电极掺状态时，电流增益小于放大状态，因为集电极掺杂浓度比基极浓度要低，因此发射效率也较低。杂浓度比基极浓度要低，因此发射效率也较低。 9/17/202437 中国科学技术大学物理系微电子专业工作模式：VCBSaturationForward activeCutoffInverted activeVEBPNPNPNSaturationForward activeCutoffInverted activeVBCVBE放大反转饱和截止正偏反偏正偏反偏正偏反偏反偏正偏E-BC-B状态9/17/202438 中国科学技术大学物理系微电子专业3、静态特性的修正、静态特性的修正（1）缓变基区晶体管）缓变基区晶体管热平衡下，中性基区内将存在一个自建电场来抵热平衡下，中性基区内将存在一个自建电场来抵消由于基区杂质浓度梯度分布而引起的扩散电流。消由于基区杂质浓度梯度分布而引起的扩散电流。在放大偏置状态下，所注入的少子不仅有扩散运在放大偏置状态下，所注入的少子不仅有扩散运动，还有由基区内建电场引起的漂移运动。动，还有由基区内建电场引起的漂移运动。内建电场的主要作用是减少注入少子渡越基区所内建电场的主要作用是减少注入少子渡越基区所需的时间，从而改善晶体管的高频特性。需的时间，从而改善晶体管的高频特性。 还可以减小少子在基区的复合，从而改善基区的还可以减小少子在基区的复合，从而改善基区的传输因子。传输因子。9/17/202439 中国科学技术大学物理系微电子专业基区内建电场的表达式基区中自建电场对电流的贡献，平衡时，基区内多子电流为零。即 9/17/202440 中国科学技术大学物理系微电子专业双扩散管中，基区杂质分布一般满足高斯分布双扩散管中，基区杂质分布一般满足高斯分布或余误差分布，都可以近似为指数分布。即：或余误差分布，都可以近似为指数分布。即： 其中，其中， 是由基区两边的杂质浓度比值决是由基区两边的杂质浓度比值决定的一个常数，称其为场因子定的一个常数，称其为场因子 。基区内建电场的表达式为：式中负号表示自建电场方向与x方向相反。 9/17/202441 中国科学技术大学物理系微电子专业基区中少子分布与电场因子有密切关系，=0相当于均匀基区，越大，基区电场越强。基区中大部分区域的少子浓度梯度较小，只有在近集电结处少子浓度梯度才增大。 9/17/202442 中国科学技术大学物理系微电子专业推导缓变基区的少子分布和各区少子电流时有两推导缓变基区的少子分布和各区少子电流时有两种方法：种方法：（1）求解包括漂移分量在内的少子连续性方程，得）求解包括漂移分量在内的少子连续性方程，得到少子分布和少子电流分布从而导出缓变基区晶到少子分布和少子电流分布从而导出缓变基区晶体管的体管的I-V方程，这种方法精确，但过程繁杂。方程，这种方法精确，但过程繁杂。（2）忽略少子在基区输运过程中的复合损失，认为）忽略少子在基区输运过程中的复合损失，认为基区少子电流近似为常数（基区少子电流近似为常数（WB0时，对给定的基极电流IB，集电极电流IC不依赖于VEC。但实际上，IC随VEC的增加而增加。这种集电极电流不饱和现象可以用厄尔利效应来解释。 当当VEC增加时，基区宽度增加时，基区宽度W减小，导致减小，导致0增加，故增加，故IC增大。增大。9/17/202455 中国科学技术大学物理系微电子专业Early effect: impact of VBC on WB注意:VBC 越负，9/17/202456 中国科学技术大学物理系微电子专业利用共发射极输出特性曲线的切线来确定利用共发射极输出特性曲线的切线来确定VA:9/17/202457 中国科学技术大学物理系微电子专业（4）Kirk效应（基区展宽效应）效应（基区展宽效应）在大电流密度工作下的晶体管基区将会发生扩展，这一现象是柯克于1962年首先提出来的，所以也被称为柯克效应。由于现代大功率晶体管都是用扩散工艺制造，所以下面的讨论都是针对缓变基区晶体管的。在放大工作状态下，理想晶体管假定边界处的少子浓度为0，但实际上存在少子浓度。空穴浓度在中性基区内被多子电子中和，但在耗尽区内将改变正负电荷层的浓度。若维持集电结偏压不变，则负电荷层减小，正电荷层宽度增加，整个耗尽区向衬底移动，中性基区趋于加宽。一定条件下，中性基区宽度超过扩散时形成的原始基区宽度，这种现象称为基区展宽效应（Kirk效应）9/17/202458 中国科学技术大学物理系微电子专业（5）产生复合电流和大注入效应）产生复合电流和大注入效应（a）基区电导调制效应）基区电导调制效应 以以PNP晶体管为例：晶体管为例： 由基区电中性要求，基区中多子与少子分布相同，由基区电中性要求，基区中多子与少子分布相同，即即满足：dnB(x)/dx=dpB(x)/dx和 nB(0)=nB0+pB(0） 基区多子（电子）浓度可以用下式表示： 考虑到基区大注入的少子对多子分布带来的影响考虑到基区大注入的少子对多子分布带来的影响后，基区电导率为后，基区电导率为9/17/202459 中国科学技术大学物理系微电子专业若只考虑基区靠近发射结附近的电导率可近若只考虑基区靠近发射结附近的电导率可近似为：似为： 对应电阻率为：对应电阻率为： 随着注入的加大，随着注入的加大，pB(0)不断加大，基区电不断加大，基区电导率导率 B相应地不断上升，电阻率不断下降。相应地不断上升，电阻率不断下降。这一现象被称为基区电导调制效应。这一现象被称为基区电导调制效应。 式中的式中的pB(0)/NB称为注入比。称为注入比。9/17/202460 中国科学技术大学物理系微电子专业（b）产生复合电流）产生复合电流实际晶体管在反向偏压下，集电区基区内耗尽实际晶体管在反向偏压下，集电区基区内耗尽层存在产生电流，而发射区基区正偏，耗尽层层存在产生电流，而发射区基区正偏，耗尽层内有复合电流。内有复合电流。如果产生电流在如果产生电流在ICBO中起支配作用，对突变的集中起支配作用，对突变的集电结，电结，ICBO随随 增加，对线性缓变的集电结，增加，对线性缓变的集电结，ICBO随随 增加，同时增加，同时 也增加。也增加。在小电流下，复合电流占支配作用，在小电流下，复合电流占支配作用， m2。 IC是由注入基区的空穴扩散到集电区形成的空穴是由注入基区的空穴扩散到集电区形成的空穴电流，不受发射区基区的复合电流影响。电流，不受发射区基区的复合电流影响。 9/17/202461 中国科学技术大学物理系微电子专业（c）大注入自建电场大注入自建电场大注入时，由于电子（多子）浓度梯度的存在，必定会向集电结方向扩散，集电结上加的是反向偏压，它阻止电子流向集电区，因此在集电结的基区侧有电子积累，由于扩散运动，在发射结的基区侧电子浓度将降低，从而在基区中产生由发射结指向集电结的电场B，这一自建电场称为大注入自建电场。它同时改变了基区少子分布。基区电子和空穴的电流方程应为： 9/17/202462 中国科学技术大学物理系微电子专业式中等号右边第一项为大注入引起的自建电场形成的漂移电流，第二项为浓度梯度引起的扩散电流。自建电场阻止多子（电子）的扩散，即InB =0式中，EB为基区本身掺杂分布形成的内建电场9/17/202463 中国科学技术大学物理系微电子专业（6）饱和电流和击穿电压）饱和电流和击穿电压（a）饱和电流）饱和电流当发射极开路时，集电极一基极结的反向电流定义为ICBO。当基极开路时，集电极-发射极结的反向电流定义为ICEO。 通常， ICBO ICEO， ICBO 发射结短路时的电流IC。9/17/202464 中国科学技术大学物理系微电子专业（b）击穿电压）击穿电压放大状态下，当放大状态下，当VBC（共基极接法）或（共基极接法）或VEC（共射（共射极接法）超过击穿电压临界值时，晶体管的集电极接法）超过击穿电压临界值时，晶体管的集电极电流极电流IC急剧增加，称为雪崩击穿。急剧增加，称为雪崩击穿。原因是集电结耗尽区内的电场太强而产生大量电原因是集电结耗尽区内的电场太强而产生大量电子空穴（雪崩倍增）。子空穴（雪崩倍增）。共基极接法：定义发射极开路时集电极一基极击共基极接法：定义发射极开路时集电极一基极击穿电压为穿电压为BVCBO ，对集电区掺杂远低于基区时：式中，EC是临界击穿电场，NC是集电区的掺杂浓度9/17/202465 中国科学技术大学物理系微电子专业共射极接法：定义基极开路时集电极一发射极的共射极接法：定义基极开路时集电极一发射极的击穿电压为击穿电压为BVCEO，当外加电压较高以至集电结发生雪崩倍增效应， 利用PN雪崩倍增因子的经验公式 ：可得：可得：对于Si，n26，且0较大，因此BVCEOBVCBO9/17/202466 中国科学技术大学物理系微电子专业（c）基区穿通）基区穿通 随着集电结反向电压的增加，集电结势垒区向两随着集电结反向电压的增加，集电结势垒区向两边扩展，基区有效宽度边扩展，基区有效宽度WBeff减小。如果晶体管的减小。如果晶体管的基区掺杂浓度比集电压低，基区宽度基区掺杂浓度比集电压低，基区宽度WB又较小，又较小，则有可能在集电结发生雪崩击穿之前，则有可能在集电结发生雪崩击穿之前，WBeff减小减小到零，即发射区到集电区之间只有空间电荷区而到零，即发射区到集电区之间只有空间电荷区而无中性的基区，这种现象称为基区穿通。发生基无中性的基区，这种现象称为基区穿通。发生基区穿通时的集电极电压称穿通电压区穿通时的集电极电压称穿通电压VPT，在，在VPT下，下，集电极电流将迅速上升。集电极电流将迅速上升。 显然，基区较薄的合金结晶体管容易出现基区穿显然，基区较薄的合金结晶体管容易出现基区穿通效应，或者发生在集电区掺杂浓度高于基区的通效应，或者发生在集电区掺杂浓度高于基区的晶体管中。晶体管中。9/17/202467 中国科学技术大学物理系微电子专业假设基区、集电区均匀掺杂，根据势垒宽度的公式，有 对于给定的基区宽度WB，只有当NB较大时才能防止基区穿通，使器件的电压只受集电结耗尽区的雪崩倍增作用限制。（NCNB时，容易发生基区穿通） 9/17/202468 中国科学技术大学物理系微电子专业4、输入和输出特性曲线晶体管应用在电路中可以有三种连接方式。这三种连接方式中应用最广的是共发射极连接，因为它具有大的电流增益和功率增益，电流增益定义为：而共基极连接具有更高些的截止频率。共集电极连接运用很少。故在此主要讨论共基极和共发射两种连接。 9/17/202469 中国科学技术大学物理系微电子专业NPN晶体管(a)共基极、 （b）共发射极和（c）共集电极三种连接法 (a) (b) (c) 9/17/202470 中国科学技术大学物理系微电子专业PNP晶体管共基极输入输出特性输入特性：IE随VEB指数上升，与正向P-N结特性一致，随着VBC增加，IE随VEB而上升得更快，这是由于基区宽度WB随VBC增加而减小，从而导致IE增大。 输出特性：IE=0时IC=ICBO，即集电结反向饱和电流。IC按IE的规律随IE而增加，若IE一定，IC基本上不随VBC变化，在VBC下降到0以后IC才逐步下降到0，这是由于只有当集电结处于正偏状态后，才能阻止由发射区注入基区的电子流向集电区。此时，晶体管进入饱和区。 9/17/202471 中国科学技术大学物理系微电子专业基区内少子分布：（a）VBC=0或0的放大状态 （b）两个结都正偏时的饱和状态9/17/202472 中国科学技术大学物理系微电子专业PNP晶体管共发射极输入输出特性输入特性：与正向P-N结特性一致，随着VEC增加，IB减小。这是由于增加VEC会使WB减小，基区中的复合电流减小，从而使IB减小；至于VEB=0时，IB不为0，这是由于此时VBC0，集电结有ICBO流过，使IB=ICBO。 输出特性：当IB=0时，流过晶体管的电流为ICEO，随着IB增加，IC以IB的规律上升；且随着VEC增加IC略上升，这是由于Early效应（WB减小而使增大）的结果；当VEC减小到一定值（对硅管来说，该值约为）而使集电结转为正偏后，IC迅速下降，此时，晶体管进入饱和区。 9/17/202473 中国科学技术大学物理系微电子专业NPN晶体管共基极接法输出特性曲线9/17/202474 中国科学技术大学物理系微电子专业NPN晶体管共发射极接法输出特性曲线9/17/202475 中国科学技术大学物理系微电子专业晶体管输出特性分为三个区域：I为线性工作区，为饱和区，为截止区。I区工作的晶体管，发射结处于正偏，集电结处于反偏；区工作的晶体管，发射结和集电结均处于正偏；区工作的晶体管，发射结和集电结都为反偏。 9/17/202476 中国科学技术大学物理系微电子专业3.3 3.3 双极晶体管模型双极晶体管模型 晶体管内部物理过程非常复杂，而在电路应晶体管内部物理过程非常复杂，而在电路应用中，只需要关心器件的端特性。如果用一用中，只需要关心器件的端特性。如果用一些基本的元件构造一个端网络，与晶体管的些基本的元件构造一个端网络，与晶体管的端网络相同，称为晶体管的等效电路或模型。端网络相同，称为晶体管的等效电路或模型。因此在不同的应用场合可以有不同的模型。因此在不同的应用场合可以有不同的模型。从构造途径划分可以分为两类：从构造途径划分可以分为两类：(1)由器件物理分析给出，称为物理模型，其物理意义明确，反映了器件内部的物理过程；(2)从应用角度出发，将器件视为“黑匣子”，不管其内部发生的过程，仅根据器件的端特性来构造模型，称为电路模型，这类模型的参数也可以与晶体管的内部参数联系起来。9/17/202477 中国科学技术大学物理系微电子专业多年来，在多年来，在SPICE之类的电路模拟器中，概括双之类的电路模拟器中，概括双极型晶体管的电学特性模型主要有极型晶体管的电学特性模型主要有EM模型模型()和和GP模型（模型（Gummel-Poon）。）。其中其中EM模型使器件的电学特性和器件的工艺参模型使器件的电学特性和器件的工艺参数相联系，数相联系，1954年提出的。年提出的。而而GP模型则是建立在器件电学特性和基区多子模型则是建立在器件电学特性和基区多子电荷相联系的基础之上的。电荷相联系的基础之上的。 9/17/202478 中国科学技术大学物理系微电子专业1 1物理模型物理模型为了模拟双极晶体管的特性，可以使用各种模拟为了模拟双极晶体管的特性，可以使用各种模拟工具对电子、空穴分布、电场、电流等进行物理工具对电子、空穴分布、电场、电流等进行物理计算。一维模型在许多情况下有效，但是电流集计算。一维模型在许多情况下有效，但是电流集边效应、边缘泄漏特性、发射极周边电容等，从边效应、边缘泄漏特性、发射极周边电容等，从本质上讲要用两维或三维模型来分析。对于硅基本质上讲要用两维或三维模型来分析。对于硅基器件，通常用基于扩散漂移输运机制的计算公器件，通常用基于扩散漂移输运机制的计算公式就足够了，但在计算一些与尺寸有关的特性时式就足够了，但在计算一些与尺寸有关的特性时这些公式不再精确。对于这些公式不再精确。对于族族HBTHBT，上述输运，上述输运机制的模拟精度会进一步受到影响。使用蒙特卡机制的模拟精度会进一步受到影响。使用蒙特卡罗模拟是比较精确的，但是需要大量的计算。因罗模拟是比较精确的，但是需要大量的计算。因而引入了流体动力学或能量平衡模拟，模拟的精而引入了流体动力学或能量平衡模拟，模拟的精度较差但计算较简单。度较差但计算较简单。 9/17/202479 中国科学技术大学物理系微电子专业埃伯斯莫尔模型（埃伯斯莫尔模型（EMEM模型）是模型）是19541954年由和首先提出的，年由和首先提出的，属于晶体管的物理模型，其模型参数能较好反映物理本质属于晶体管的物理模型，其模型参数能较好反映物理本质且易于测量。基本思想是晶体管可以认为是基于正向的二且易于测量。基本思想是晶体管可以认为是基于正向的二极管和基于反向的二极管的叠加。极管和基于反向的二极管的叠加。IF0为正偏时二极管的饱和电流 IR0为反偏时二极管的饱和电流 9/17/202480 中国科学技术大学物理系微电子专业基本基本EM模型的等效电路模型的等效电路9/17/202481 中国科学技术大学物理系微电子专业基本的EM模型表达式9/17/202482 中国科学技术大学物理系微电子专业由此得到基本的EM模型：由上面两式可得，式中IEBO和ICBO分别为集电极开路时发射极饱和电流和发射极开路时的集电极饱和电流。 9/17/202483 中国科学技术大学物理系微电子专业为了改善模型的精确度，在基本模型基础上加串联电阻和耗尽层电容的改进模型。可以考虑在内部发射极和集电极两端之间加上额外的电流源来包括厄而利效应。还可以在基极引线上加上二极管以解释沿基极发射极结的两位电流拥挤效应。总结：器件模型越精确，所需模型参数就越多，器件模型就越复杂。9/17/202484 中国科学技术大学物理系微电子专业Ebers-Moll Model9/17/202485 中国科学技术大学物理系微电子专业2 2电路级的模型电路级的模型GummelPoon模型(GP模型)的主要特点是把晶体管的电学特性（结电压、集电极电流等）和基区多子电荷联系在一起。 其中QB0为热平衡时基区的多子电荷总量。QjE代表发射结正偏时其耗尽区宽度变化而使基区多子电荷增加的数量，QjC代表集电结正偏时其耗尽区宽度变化而使基区多子电荷增加的数量，QdEQdC代表基区中存储电荷的数量。具体的计算见课本半导体器件物理基础P83。 9/17/202486 中国科学技术大学物理系微电子专业Gummel-Poon Model( ) 9/17/202487 中国科学技术大学物理系微电子专业GummelPoon模型的不足之处 不能很好描述电流集边效应。电流集边效应对硅双极晶体管是重要的问题，而对大多数HBT而言，因为HBT的基区掺杂通常较大，则可忽略。为了部分的考虑这些效应，SPICE模型提供一个表达式来描述基区电阻随正向电流的变化。不能很好描述电荷贮存效应和集电区在饱和时的电阻，特别是对于承受中等偏压、具有较厚和轻掺杂集电区的晶体管。当晶体管工作在VBC较低的情形下，集电区没有耗尽，串联电阻显著增大。然而，如果VBC正偏且足够大时，注入到集电区的空穴使电阻减小。 用电荷控制模型描述晶体管的瞬态行为，只能是一种近似。用电荷控制模型描述晶体管的瞬态行为，只能是一种近似。特别是，瞬态电荷的分布与由电荷控制模型得到的稳态分特别是，瞬态电荷的分布与由电荷控制模型得到的稳态分布是不同的，至少非静态电荷分布会导致输出电流相对于布是不同的，至少非静态电荷分布会导致输出电流相对于输入偏压在时间上有所延迟。通常将时间延迟因子纳入到输入偏压在时间上有所延迟。通常将时间延迟因子纳入到集电极电流源中，以用来校正已经包括在电荷控制模型中集电极电流源中，以用来校正已经包括在电荷控制模型中被称作延迟相位的延迟量。被称作延迟相位的延迟量。9/17/202488 中国科学技术大学物理系微电子专业为了精确描述晶体管的基区电阻和集电结电容，需要使用为了精确描述晶体管的基区电阻和集电结电容，需要使用分布电阻电容网络。为简化起见，分布电阻电容网络。为简化起见，GummelPoon模型模型只考虑了单一的基极电阻，器件的大部分电容必须通过该只考虑了单一的基极电阻，器件的大部分电容必须通过该电阻进行充电，而在更精确的模型中，基区被分成几部分，电阻进行充电，而在更精确的模型中，基区被分成几部分，分别定义了不同的串联电阻和相关的电容。分别定义了不同的串联电阻和相关的电容。双极晶体管中的电流密度可能会很大，这样电流流过器件双极晶体管中的电流密度可能会很大，这样电流流过器件时会产生很可观的热量，由于晶体管的各种特性强烈依赖时会产生很可观的热量，由于晶体管的各种特性强烈依赖于温度的变化，自加热效应将对测量的特性产生影响。这于温度的变化，自加热效应将对测量的特性产生影响。这对于对于族器件尤为重要，因这种器件基区的电阻率高族器件尤为重要，因这种器件基区的电阻率高从而要求的发射区宽度也大。而且从而要求的发射区宽度也大。而且族材料的导热率族材料的导热率比硅低。为了计及自加热效应，可以考虑附加一个与晶体比硅低。为了计及自加热效应，可以考虑附加一个与晶体管有关的热电路。管有关的热电路。 考虑串联电阻等影响后，模型可以十分精确，但所需参数考虑串联电阻等影响后，模型可以十分精确，但所需参数多达多达25个。为了对特定电路进行分析，必须在精确度和模个。为了对特定电路进行分析，必须在精确度和模型复杂性之间进行折衷考虑。型复杂性之间进行折衷考虑。9/17/202489 中国科学技术大学物理系微电子专业3.4 3.4 晶体管的频率响应晶体管的频率响应晶体管在实际应用中大都是用来放大交流讯号，特别是随着现代电子技术的发展，越来越多地被用于高频、超高频和微波领域，但当信号频率升高时，晶体管的放大特性要发生变化，如电流增益减小，相移增加等，这些变化的主要原因是势垒区电容及扩散电容的充放电。 1频率参数频率参数2晶体管的小信号等效电路晶体管的小信号等效电路3. 频率功率限制频率功率限制9/17/202490 中国科学技术大学物理系微电子专业（1）频率参数在低频工作时，电流增益不随频率变化。但工作在高频时，电流增益明显下降，且随着频率的增高, 电流增益一直降下去，直到器件失去放大能力。为了描述增益随频率变化的限制，引入下列电流增益的频率特征参数。共基极截止频率f：定义为当电流增益随频率升高而下降到低频增益的1/ 倍时所对应的频率，即下降到1/ 0时频率。 共发射极截止频率f：定义为下降到1/ 0时的频率。特征频率fT：定义为下降到1时（0db）的频率。 9/17/202491 中国科学技术大学物理系微电子专业值得注意的是，f f以后，随频率升高而下降是有规律的：频率升高一倍，增益就下降一倍，即下降6db，其频率与增益的乘积保持为常数不变。fT就是增益一带宽乘积，fT也是描述晶体管能起电流放大作用的最高极限频率。 晶体管频率响应的最重要限制是少子通过基晶体管频率响应的最重要限制是少子通过基区的渡越时间。区的渡越时间。 9/17/202492 中国科学技术大学物理系微电子专业基区渡越时间（PNP管） 当基区少数载流子pB(x)以速度V(x)穿越基区，产生基区传输电流IpB(x)=AqpB(x)V(x)时， V(x)为基区少子的有效速度，则空穴穿越基区的时间为 在基区宽度WBLpB，近似认为基区传输电流为常数即IpB(x)IpE=-AJpE时，基区少子分布用均匀基区和线性近似代入可得9/17/202493 中国科学技术大学物理系微电子专业（2）晶体管的小信号等效电路晶体管是非线性器件，但对于小信号条件下的工作状态可以看作线性器件。因此，常用四端网络的等效电路来研究晶体管电学特性。 随着运用频率的提高，晶体管的各种电容效应开始起支配作用，故必须考虑势垒电容CTe、CTc和发射结的扩散电容Cde的影响，也要考虑基极电阻rb的作用，因为该电阻和电容组成的RC时间常数将会影响晶体管的高频性能。在高频时，由于rC1/CTc，故rc可以忽略。 9/17/202494 中国科学技术大学物理系微电子专业跨导gm：输入电导：输出电导：9/17/202495 中国科学技术大学物理系微电子专业较高频时9/17/202496 中国科学技术大学物理系微电子专业高频时9/17/202497 中国科学技术大学物理系微电子专业高频时，考虑基区宽度调制效应时存在有限的输出电导9/17/202498 中国科学技术大学物理系微电子专业（3）频率功率限制高频功率增益：定义高频优值U为功率增益与频率平方的乘积：它标志晶体管的放大能力，也称增益一带宽积。最高振荡频率： 式中，rb为基极电阻，CTC为集电极总输出电容。9/17/202499 中国科学技术大学物理系微电子专业提高晶体管特征频率fT的途径 1.在一般的高频晶体管中，减小B成为提高fT的主要因素。降低晶体管的基区宽度WB，提高基区电场因子。2. 减小发射结面积以减小CTe 。3.减小集电结的势垒宽度xjC，即降低集电区电阻率，但它又与提高击穿电压有矛盾。为此，必须根据不同要求作适当选择。 4.减小集电极串联电阻rcs及集电结势垒电容CTc。为此一是降低集电区电阻率和减小集电区厚度，以减小rcs（但这也与提高击穿电压的要求矛盾）；二是缩小结面积以降低CTc。综合之，提高综合之，提高fT的主要途径是：减小基区宽度的主要途径是：减小基区宽度WB，减小结面积（发射结及集电结），适当降低集，减小结面积（发射结及集电结），适当降低集电区电阻率和厚度。电区电阻率和厚度。9/17/2024100 中国科学技术大学物理系微电子专业3.5 3.5 功率特性功率特性1最大集电极电流最大集电极电流IC为使晶体管电路的输出功率大，要求晶体管能输出较大的电流，但大电流工作的晶体管电流放大系数和截止频率都要下降，从而限制了输出功率。因此，在讨论晶体管的功率特性时，我们先讨论晶体管的最大集电极电流。基区电导调制效应及有效基区扩展效应均会使晶体管特性变差，因此必须定义各自的最大电流限制。 最大集电极电流密度取决于上述两种效应中最小的最大发射极电流。 9/17/2024101 中国科学技术大学物理系微电子专业2功率晶体管的安全工作区功率晶体管的安全工作区(SOA) 晶体管的最大耗散功率 晶体管的输出功率，除受到电学参数限制外，还受到热学参数的限制，这是由于电流的热效应使晶体管消耗一定的功率，引起管芯发热，此热量通过半导体、管壳等途径散到管外，称为晶体管的耗散功率。晶体管的最大耗散功率与热阻有如下关系： 式中TjM为最高结温；TA为环境温度；RT是稳态热阻，与功率晶体管的结构、材料和各材料的厚度、面积和热导率等有关； 9/17/2024102 中国科学技术大学物理系微电子专业晶体管的二次击穿 实践表明，当晶体管工作在最大耗散功率范围内时，仍有可能发生击穿而被烧毁。一般认为，这是由于晶体管的二次击穿所引起的。 当集电结反向偏压VCE逐渐增大到某一数值时，集电极电流IC急剧增加，这就是通常的雪崩击穿，称为一次击穿；继续增加集电结电压，使IC增大到某一临界值此VCE突然降低，而电流则继续增大，出现负阻效应，此称二次击穿。 二次击穿的过程极短，通常为微秒量级，一旦发生二次击穿，如果没有保护电路，则晶体管很快就烧毁了。 9/17/2024103 中国科学技术大学物理系微电子专业3.6 3.6 开关特性开关特性在叙述晶体管的三个工作区中已经注意到，如果晶体管工作在截止区，其输出阻抗很大，相当于电路“断开”；若晶体管工作在饱和区，则它的输出阻抗很小，相当于电路“接通”。这样使用的晶体管在电路中起着开关作用。晶体管由截止区转换到饱和区，或由饱和区转换到截止区，可以通过加在其输入端的外界信号来实现，因此，转换速度极快。近代电子计算机中所用的开关电路，就是根据晶体管的这一特性来设计的，其开关速度达每秒几十万次到几百万次，甚至更高。 9/17/2024104 中国科学技术大学物理系微电子专业9/17/2024105 中国科学技术大学物理系微电子专业（1）关断和导通阻抗为了表征开关作用，考虑三个基本参量。关断阻抗，导通阻抗和开关时间。关断阻抗： 导通阻抗：由上面两式可知，结的反向饱和电流IEBO、ICBO小时，关断阻抗很高。导通阻抗近似反比于IC，当IC很大时，导通阻抗很小。实际上，基区和集电区的欧姆电阻包含在总阻抗内，尤其对于导通阻抗。9/17/2024106 中国科学技术大学物理系微电子专业（2）开关时间开关时间的定义： 晶体管从关态转变为开态的时间称为开启时间ton，由开态转变为关态的时间称为关断时间toff。由于在开关过程中集电极电流是交替变化的，电流开始上升或开始下降的时刻很难准确确定，工程上一般以最大值ICS的或倍进行测量，定义开关时间。从基极回路输入正脉冲信号起（t=0）到晶体管集电极电流升至为止，称为延迟时间td。集电极电流由升至为止，称为上升时间tr。基极信号变负开始到集电极电流下降到CS，称为存贮时间ts。集电极电流从CS下降到CS所需的时间为下降时间tf。 tontd+tr；tofftstf；tton+toff9/17/2024107 中国科学技术大学物理系微电子专业利用电荷控制模型分析开关时间基区内存贮的总过剩少子电荷为（PNP管）：由连续性方程给出存贮电荷随时间的变化由此，可得电荷控制的基本方程 ：瞬态基极电流的作用？9/17/2024108 中国科学技术大学物理系微电子专业延迟时间：存贮时间：式中，若t3p，则9/17/2024109 中国科学技术大学物理系微电子专业分析导通时间取决于如何迅速把空穴（PNP管的基区少子）或电子（NPN管的基区少子）注入到基区。关断时间取决于如何通过复合使空穴迅速消失。开关晶体管的重要参数之一是少子寿命。对高速开关管，降低少子寿命的有效方法是在禁带中心附近引入有效产生复合中心如掺金工艺。9/17/2024110 中国科学技术大学物理系微电子专业（3）开关过程1.截止状态2.延迟过程3.上升过程4.超量存贮即饱和状态5.超量储存电荷消失过程即存贮时间6.下降过程7.截止状态9/17/2024111 中国科学技术大学物理系微电子专业提高开关速度的措施提高晶体管的开关速度，必须从改善器件性能及电路工作条件着手，这里我们仅讨论提高开关速度对器件性能的要求。 (1)提高晶体管的频率特性，这要求： (a)减小结面积，使 CTe及CTc减小; (b)减小基区宽度WB，一般说fT主要决定于WB，减小WB可大大提高fT。 (2)在工艺上增加掺金工序，其原因是： (a)降低集电区少子寿命，特别对N-P-N晶体管更见效，这是由于金在n-Si中对空穴的复合作用比它在p-Si中对电子的复合作用强约一倍，它可减少集电区中超量储存空穴的数量，在储存时间内又可加速超量储存空穴的消失，从而使ts减小； (b)析出凝聚在位错、层错处的重金属铜、铁等，以改善反向特性。 (c)掺金后的缺点：一是使反向漏电流增加，还减小了电流放大系数；二是使集电区电阻率增加，这是因为金起着施主或受主作用。(3)减小集电区外延尽厚度WC，以减小超量储存的电荷。9/17/2024112 中国科学技术大学物理系微电子专业双极晶体管优点电子沿垂直方向流过器件。器件尺寸可精确控制，容易制造出电子渡越时间短、截止频率高的器件导通电流流经整个发射区，单位芯片面积上的电流密度可以很大，实现大电流输出集电极电流的载流子密度直接由输入电压控制，跨导可以很高开启电压由pn结内建电场决定，而不依赖于器件尺寸和工艺的变化输入电容一般用工作电流衡量，大小主要由扩散电容决定，因此适应驱动负载能力强在高压大电流电路中，由于电子和空穴的双注入，有可能获得轻掺杂集电区电阻的电导调制，使串联电阻小。9/17/2024113 中国科学技术大学物理系微电子专业在DC工作下需要一定的输入基极电流工作在饱和区时，基极电流增加，过剩电荷存贮，使开关速度变缓，难以用于逻辑电路在电路中，阈值电压不能作为设计参数。目前只能制造具有正阈值电压的晶体管目前通过先进的工艺技术能使器件的尺寸和寄生效应变的更小，异质结的使用在晶体管的设计中增加一个新的自由度，使器件更快。在BiCMOS技术中双极与FET相结合可获得超高输入阻抗并可实现在逻辑电路中的信号开关旁路晶体管。双极晶体管缺点9/17/2024114 中国科学技术大学物理系微电子专业3.7 3.7 异质结晶体管异质结晶体管HBTHBTheterogenous bipolar transistor最重要的异质结材料是-V族化合物半导体，如GaAs及其三元化合物AlxGa1-xAs之类的固溶体，其中x可以从0变化到1。当x=0时为砷化镓，在300K下禁带宽度为1.42eV,晶格常数为；当x=1时为砷化铝（AlAs），它的禁带宽度为，晶格常数为5.6605 。三元化合物AlxGa1-xAs的禁带宽度随x增加而增加，而晶格常数基本上保持不变。甚至在x=0和x=1时的极端情况下，晶格常数的失配也仅有0.1%。 异质结双极晶体管器件用n-AlxGa1-xAs作发射区，p-GaAs作基区,n-GaAs作集电区。 9/17/2024115 中国科学技术大学物理系微电子专业假定发射结是缓变异质结，该晶体管工作原理类似于通常的晶体管。在放大状态下，基极电流主要包括发射结耗尽层内的复合电流IER，基区内复合而必须补偿空穴损失的电流IBR，基区向发射区注入的空穴电流IEp。集电极电流主要来自发射区注入并穿过基区的电流ICn，共发射极电流增益表达式为：这里，max表示注入比，也是晶体管受注入比限制时的最大电流增益。9/17/2024116 中国科学技术大学物理系微电子专业根据晶体管理论有 其中， 由此可得， 其中，DnB是电子在基区的扩散系数，DpE、LpE是空穴在发射区的扩散系数和扩散长度，WB为基区宽度。 9/17/2024117 中国科学技术大学物理系微电子专业异质结双极型晶体管有许多优点： （1）发射效率高。这是因为空穴（对于N-P-N晶体管的发射区来说，空穴是少数载流子）从基区向发射区注入时，受到价带高势垒的阻碍；（2）基区电阻小。这是因为基区可以重掺杂而不损失发射效率；（3）可减小发射极电流集边效应。这是因为发射区一基区结上的电压降很小；（4）改善了频率响应。这是因为电流增益大，基区电阻小。 此外，异质结双极晶体管可以采用某些高温性能好的材料。可使器件工作温度达300以上。利用外延技术可以制成各种各样的异质结双极晶体管。其中包括采用组分缓变的材料作基区的器件，例如用AlxGa1-xAs作基区，x值从发射结递减到集电结，以提供一个内建电场，减小基区渡越时间。也有采用双异质结结构的器件（宽禁带发射区和宽禁带集电区），以使发射结和集电结对称，从而改善放大状态和反转状态下的电流增益，常见的有AlGaAs/GaAs HBT,InGaAs/InP HBT，Si/Si1-xGex HBT等。9/17/2024118 中国科学技术大学物理系微电子专业总结与展望双极晶体管具有高的fT和gm，主要应用在高速电路和大功率器件。速度过冲效应新材料与其它器件的集成：BiCMOS9/17/2024119 中国科学技术大学物理系微电子专业补充：1.一理想的PNP晶体管，其发射区、基区、集电区的杂质浓度分别为1019、1017、51015cm-3，而少数载流子的寿命分别为10-8、10-7和10-6s，假设器件有效横截面积A为2，且射基结上正向偏压为，请求出晶体管的共基极电流增益。晶体管的其他参数为：DE=1cm2/s， Dp=10cm2/s， DC=2cm2/s， Wm。 2.欲设计一双极型硅晶体管，其截止频率fT为5GHz，请问中性基区宽度W需为多少？假设Dp为10cm2/s ，并可忽略发射极和集电极延迟。9/17/2024120