目录设备结构介绍设备结构介绍2软件介绍软件介绍3 1工艺介绍及工艺异常处理工艺介绍及工艺异常处理3 3 SCHMID工艺设备介绍1.软件介绍操作模式1.机器操作模式2.控制操作模式1.1操作模式机器操作模式：1.自动模式功能：1.准备（待机）功能激活 2. 在设备错误被激活下可进行可运转 3.滑动窗监控激活2.特殊操作模式1.解除传感器功能:在解除传感器下，传入传感器启动。即使没有硅片在机器中，机器的所有设备也可以启动。也包括待机设备在内所有设备开始运行。 在MO01中的控制里：Override sensor ON = sensor is not active 解除传感器ON=传感器没有激活Override sensor OFF = sensor active (normal status).解除传感器FF=传感器激活2. 解除滑动窗口没有滑动窗口监视操作 功能：当开关转到解除滑动窗口（要开关转到1），滑动窗口监控关闭，当滑动窗口打开时，机器仍继续运行注意：如果滑动窗口接触被解除(override sliding windows ON = 1)及滑动窗口被打开，泵开始运行。因此，当打开带运行中的泵和滑动窗口的操作模组时，必须特别小心。3.维修维修 功能：现在生产线的状态是维修。这种条件下，所有设备功能：现在生产线的状态是维修。这种条件下，所有设备(控制控制)和阀门关闭。和阀门关闭。在维修操作模式下，所有泵和阀门可以被单个选择和独立操作。通过点击相应模在维修操作模式下，所有泵和阀门可以被单个选择和独立操作。通过点击相应模块下的维修菜单，可以看见相应功能。可以获得打开泵的清单。块下的维修菜单，可以看见相应功能。可以获得打开泵的清单。 在维修操作模式下，切断泵相关的安全条件仍保持不变（例如，干运行保护的停止功能、安全自动控温装置、过滤器接触等功能停止，相应的泵和阀门自动关闭。设置的前提：1. 为了进入维修操作模式，生产线必须停止运行。2. 既可以通过开关柜上的停机按钮，也可以通过计算机上的F2按钮来停止生产。3. 然后维修钥匙开关转到1. 此后，必须使用计算机上的F3功能键进入维修功能控制模式：功能：与机器操作模式相反，控制操作模式用于机器的单个设备。可以对属于模组的个别设备进行设置。对于每个设备，使用下拉菜单区域可以设置想要的操作模式。点击带箭头的区域，然后在下拉菜单下选择 OFF：关闭：设备保持关闭INTERVAL:当机器控制打开，设备也打开；例如，加热器和循环泵就属于这种情况。ON:随着设备的开启，机器开启。STAND-BY:待机，当传入传感器繁忙，机器开始生产（硅片进入机器），设备打开。同时当机器空载和最后一个硅片通过输出传感器，机器关闭。“解除传感器”激活时，机器设置为待机模式，当做ON 对待。1.2SCHMIDWATCH的总体布局1. 屏幕上部是导航栏，描述了整个机器的功能。2. 下面是两列菜单，可以调用史密德的各种功能。3. 中间是史密德的工作区域，可以看到个别模块和显示摘要目录。4. 是信息区域，通过左侧语言选择，报告单在中部显示，状态情况在右面显示。5. 在屏幕底部边缘是工具栏，描述主要的任务功能键。机器摘要： 登陆史密德机器后或使用菜单项目摘要，显示个别单元模组的基本功能。机器的状态可以迅速地从模块的颜色识别出来，红色代表警告，黄色代表预警，绿色代表机器准备好生产或操作，灰色代表机器停止。2.2信息区和工具栏1.语言栏2. 报告清单3.状态栏4.功能键1.语言栏功能：对系统语言进行切换步骤：1.点击“tauchpanel”按钮2.选择所需要的语言2.报告清单功能：显示设备或者软件商的故障报警的内容报警时间报警模块以及报警的序列号报警内容解读报警内容，能更好的帮你解决问题。3.状态设备的运行状态，共3种：1.已开机2.停机3.待机设备当前使用的配方已投入的硅片数量，其值为相对值。在F7中可清零。 F1 start 开始开始 F2 stop 停止停止 F3 maintenance 维修：维修：如果开关柜上的维修开关打开，机器进入维修模式。然 后模组中的维修菜单项目激活，模组中的单元可以打开。 F4 reset 复位：复位：开关柜上的按钮与电脑上功能键有相同的功能 4.功能键介绍： 检查框用来激活各自的组织错误。就像是“lack of material”这样的一些组织错误，也可以通过PLC系统自动激活。当组织错误激活后，F5 故障原因按钮变蓝。生产恢复后，PLC立即自动复位激活的组织错误。机器出现技术故障不会自动导致机器空载或停止，记录的技术故障可以使用“technical error”按钮手动激活。F5 breakdown reason 故障原因：故障原因：打开一个记录组织错误的窗口能被激活。F6 周定时器周定时器打开一个窗口，在这个窗口中可以设置机器起止时间。在生产前，可以打开机器进行预热。当设备打开，机器在设定的时间内，加热器备用。 F7数据数据这里分为相对与绝对。绝对指的是自从设备生产以后累加的数量。相对可复位，即可计算某一时段的数量。管理信息系统数据可以在MIS数据记录器下显示。F8用户用户打开登录对话框，用户可以登陆或退出SchmidWATCH。生产部账户名为：operator 密码：三个空格F9警告警告在在“all reports”记录中，显示所有当前错误的完整清单。记录中，显示所有当前错误的完整清单。在在“start conditions”记录中，只显示防止机器的启动错误信息。记录中，只显示防止机器的启动错误信息。在在“fatal error”记录中，只显示保护控制机器的信息。记录中，只显示保护控制机器的信息。F10诊断诊断注意：注意：如果没有真正地检查核对，不得使用此功能操控PLC数据。只有经史密德公司同意或个人的指导下才能使用该功能。1.3控制和监控过程（控制和监控过程（Machine）1.Reports报告报告 当前显示属于本模块的报告。上部菜单显示所有警告，下部菜单显示所有预警报告。2.Parameters 参数参数 这里列出了该模组的所有参数（设定值、警告限、预警限）。如果相对于模拟值有一个警告，实际值区域的背景颜色变黄色。至于警告显示，实际值区域的背景颜色变为红色。3.Controls 控制控制这里可以设定本模块的控制模式。每次控制都可以使用选择区域选择需要的操作模式。4. Maintenance 维修维修 这里，在维修模式下，每次模式的控制都可以打开或关闭。正常操作下，维修菜单不是激活的。通过解除维修模式，可以关闭所有已打开的控制。怎样启动维修模式：1.将开关柜上的功能键打到维修状态2.使用F3功能键调用维修操作5. Dosing 添加溶液添加溶液可手动开关计量盒，停止其工作规定每到额定硅片的数量，计量盒自动向储液罐添加药液计划向储液罐添加液体量设定向储液罐添加液体量计量盒自动向储液罐添加药液的量6. Cleaning 清洗清洗溶液排空清洗整个 M02模组，包括刻蚀槽和储液罐只清洗刻蚀槽点击清洁”启动”时，设备会自动将储液罐里液体排空，再通入纯水对设备进行清洗。7. Makeup 配液配液 使用本窗口可以启动配制新药液。前提是机器处于停机模式。在这里键入所有配液参数（配液量、混合时间等）。液体在储液罐里的实际量注：如果储液罐中有一定量的液体，点击配槽”启动”，设备会报警并且动作不会进行。8. 上下文帮助和输入水平上下文帮助和输入水平使用F12功能键或双击，打开一个窗口，可以进行各种输入和选择。该窗口可以显示附加帮助文本，如果用户有相应的存取权，也可以进行编辑。9. 历史报告历史报告除了在各种报告单上显示，所有的信息也可以保存在数据库中，并且以标准格式保存60天。在弹出的窗口的帮助下，历史信息也可以使用多种过滤选择来展示和评估历史信息比如：选择日期、detail等。上部菜单上的趋势菜单项目可以调用历史趋势资料。右边是可用到得信号菜单，下面是时间选择区域。趋势图可以通过实施按钮手动更新，使用自动复选框趋势图循环更新。用打印按钮可以打印图表，下面的数据被存为CSV 文件，也可以以Excel 的形式进一步处理。1.4 recipes配方配方1. Detail 详细信息详细信息通过点击Detail,在点击Parametre,可以得到每个模组的工艺设置。2. New 新建新建使用新建菜单项目，新方法和当前机器状态被保存下来。1.键入该方法的名称和描述。2.点击保存按钮来从当前参数读取信息和保存下来。3. Modify 修改修改 使用recipe窗口的Parameter按钮打开一个新窗口，在这个窗口中，个别参数可以被修改而不影响机器的当前生产。当方法改变了，名称不能再写入。为此，老方法必须以一个新名称复制下来。然后，新方法可以以一个新名称存档,描述和信息可以随意修改4. Copy 复制复制所选择的方法的数据可以使用复制菜单项目以一个新名称保存下来。5. Delete 删除删除所选择的方法也可以通过删除按钮删除。所选择的方法也可以通过删除按钮删除。6. Load 装载装载通过载入菜单，所选择方法的参数可以单独地载入机器的控制系统，此操作可能需要一些时间，直到该操作已经通过。7. Save 保存保存通过使用保存菜单，选择方法的参数被重新写入数据库。该操作可能也需要花费一些时间，直到已经进行的操作显示8. Summary摘要摘要菜单项目摘要开辟了一个新窗口来展示所有方法和这些方法的参数。该表格允许检查和比较所有方法。1.5 管理用户和权限管理用户和权限 Admin:机器的管理员，有权使用史密德机器做任何事情。 等级9 Chemist:药剂师：只能更改配方。 等级6 Engineer: 工程师：能更改配方以及部分设备参数。 等级8 Operator：操作员 能更改一些最基本的参数，比如带速等。 等级4 Service:维修人员，赋予维修权利的相关人员 等级6 Worker: 工人，没有权利修改生产数据和过程参数 等级12.设备介绍主机电脑设备基体电柜2.1集中供液系统介绍：配液房中共有四个配液柜：注：1.以上的化学药品均属于晶瑞，与二线的化学药品供应商不同。 2.HCL柜可配备两个桶，但现在设备未完全接好，只能接一个桶。配液柜界面操作药品取样控制泵CDA的压力总的CDA的压力控制各元器件CDA的压力控制柜药液柜报警灯N2CDA纯水流入纯水流出药液流出界面介绍：1.此时我们看到的是监视画面。药液柜门的开关由此界面控制：开门时必须将”运行“点成灰色，然后再点击”开关保护“；关门时要先点击”开关保护“，在讲”运行“点成红色。2.”维护画面“中有气动阀和泵的开关，可以手动操作，设备工程师不建议我们使用。化学品监控供应系统这是对化学品流动的一个监控，如配液柜不工作或者有液体泄露都会有警报。